ÔÔ Ö Ò ÈÖÓ Ò Ó Ø Ø ÁÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð ÓÒ Ö Ò ÓÒ Ö Ø ØÙÖ Ð ËÙÔÔÓÖØ ÓÖ ÈÖÓ Ö ÑÑ Ò Ä Ò Ù Ò ÇÔ Ö Ø Ò ËÝ Ø Ñ ¾¼¼¼ Designing Computer Systems with MEMS-based Storage Steven W. Schlosser, John Linwood Griffin, David F. Nagle, Gregory R. Ganger Carnegie Mellon University ÐÓ Ö ÆÒ¾ ºÑÙº Ù ÓÓÒ ºÑÙº Ù Ò Ö ºÑÙº Ù ABSTRACT ÓÖ Ø Ê Å¹ØÓ¹ Ñ ÑÓÖÝ Ö Ö Ý Ô ÔÐ Ù ÓÑÔÙØ Ö Ö Ø Ø º Ò Ü Ø Ò Ò Û ØÓÖ Ø ¹ ÒÓÐÓ Ý ÓÒ Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÑ Ò Ð Ý Ø Ñ Å Å˵ ÔÓ ØÓ ÐÐ Ð Ö ÔÓÖØ ÓÒ Ó Ø Ô Ö ÓÖÑ Ò Ô Ò ¹ ÒØÐÝ Ö Ù Ý Ø Ñ ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ Ò Ò Ð Ñ ÒÝ Ò Û ÔÔÐ Ø ÓÒ º Ì Ô Ô Ö ÜÔÐÓÖ Ø Ý Ø Ñ¹Ð Ú Ð Ñ¹ ÔÐ Ø ÓÒ Ó ÒØ Ö Ø Ò Å Å˹ ØÓÖ ÒØÓ Ø Ñ Ñ¹ ÓÖÝ Ö Ö Ýº Ê ÙÐØ ÓÛ Ø Ø Ø Ò ÐÓÒ Å Å˹ ØÓÖ Ö Ù Á»Ç Ø ÐÐ Ø Ñ Ý ß ÓÚ Ö Ò Ñ¹ ÔÖÓÚ ÓÚ Ö ÐÐ ÔÔÐ Ø ÓÒ ÖÙÒØ Ñ Ý ½º ß º º Ï Ò Ù ÓÒ¹ Ó Ö ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ ÑÔÖÓÚ Á»Ç Ö ÔÓÒ Ø Ñ Ý ÙÔ ØÓ º º ÙÖØ Ö Ø Ò Ö Ý ÓÒ¹ ÙÑÔØ ÓÒ Ó Å Å˹ ØÓÖ ½¼ß Ð Ø Ò Ø Ø Ó Ø Ø ¹Ó ¹Ø ¹ ÖØ ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú º Ì ÓÑ Ò Ø ÓÒ Ó Ø ¹Ð Ú Ð Ô Ý Ð Ö Ø Ö Ø Ó Å Å˹ ØÓÖ¹ Ñ ÐÐ ÓÓØÔÖ ÒØ Ó ØÓÐ Ö Ò µ Ò Ø Ð ØÝ ØÓ Ö ØÐÝ ÒØ Ö Ø Å Å˹ ØÓÖ Û Ø ÔÖÓ Ò Ð ØÓ Ù Ò Û ÔÔÐ Ø ÓÒ ÔÓÖØ Ð Ø ØÓÖ Ý Ø Ñ Ò Ù ÕÙ ØÓÙ Ø Ú ØÓÖ ÒÓ º 1. INTRODUCTION ÓÖ Ø Ñ ÑÓÖÝ Ö Ö Ý Ù«Ö ÖÓÑ ¹ Ò ÒØ Ð Ø ÒÝ Ò Û Ø Ò Ó Ø Ô ÑÓÒ Ø ÔÖÓ¹ ÓÖ Ê Å Ò ¾ º ÐØ ÓÙ Ø ÔÖÓ ÓÖ¹ØÓ¹ Ê Å Ô Ö ÓÖÑ Ò Ô Ò Ñ Ø Ø Ý Ø Ñ ÑÓÖ ¾ Ø Ê Å¹ØÓ¹ Ô Ö Ñ Ò ÙÒ ÐÐ Û Ò Ò ØÓ ÓÖ Ö Ó Ñ Ò ØÙ Ò ¾¼¼¼ Ò ÓÒØ ÒÙ Ò ØÓ Û Ò Ý ÓÙØ ¼± Ô Ö Ý Öº Ì Ö ÙÐØ Ò ¹ ÒØ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò Ð Ð ØÝ ÔÖÓ Ð Ñ ÖÓ Ö Ò Ó ÔÔÐ Ø ÓÒ Ø Û ÖÚ Ö Ñ Ð ÖÚ Ö Ó ØÛ Ö Ú ÐÓÔÑ ÒØ ØÓÓÐ Ú Ò Å ÖÓ Ó Ø ÏÓÖ ÐÓ Ø Ñ º Ì Ê Å¹ØÓ¹ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ô Ù ØÓ Ø Ô Ý Ð Ö Ø Ö Ø Ó Ö Ú ÐØ ÓÙ ÓÒØ ÒÙ ØÓ ¹ Ð Ú Ö Ô ØÝ ÖÓÛØ Ó ÓÚ Ö ¼± Ô Ö Ý Ö Ø Ö Ñ Ò Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ý Ø Ñ Ð Ñ Ø Ø Ñ ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ ØÓ ÓÒÐÝ ± Ô Ö Ý Ö ¾ º ÈÊÇÅ Ø ÒÓÐÓ Ù Ð Cost per Byte $1000/GB $100/GB $10/GB $1/GB DRAM EEPROM/Flash MEMS-Based Storage Hard Disk 10ns 1us 100us 10ms Latency ÙÖ ½ ÈÖ Ø Ó Ø Ò Ð Ø ÒÝ ÓÖ ØÓÖ Ø ÒÓÐÓ¹ Ò ¾¼¼ º Å Å˹ ØÓÖ ÐÐ Ø ÖÓÛ Ò Ñ ÑÓÖÝ Ö Ö Ý Ô ØÛ Ò Ê Å Ò Ö Ý ÓÜ Ö ÔÖ ÒØ ÒÓÒ¹ ÚÓÐ Ø Ð ØÓÖ µº ÈÊÇų Û ÓÜ Ô Ò Ø Ô ØÛ Ò Ø Ö Ò ÛÖ Ø Ð Ø Ò º Ì Û Ò Ø ÐÐ Å Å˹ ØÓÖ ÓÜ Ö ÔÖ ÒØ Ø Ñ ÒÝ Ò ÔÓ Ð Ø ÓÖ Ø Ò Û Ø ÒÓй Ó Ý Ù ÒË Ø ÓÒ ¾µº Ê Å ÓÖ Å ÑÓÖÝ ËØ ½ µ Ó«Ö ¹Ô Ö ÓÖÑ Ò ÒÓÒ¹ ÚÓÐ Ø Ð ÓÒ ÖÝ ØÓÖ ÐØ ÖÒ Ø Ú ØÓ ÙØ Ø Ö ÙÖ¹ Ö ÒØ Ò ÙØÙÖ Ó Ø Ô Ö Ñ ÝØ Ö Ñ Ò ¾ ÓÖ Ö Ó Ñ ¹ Ò ØÙ Ö Ø Ò ØÓÖ ÙÖ ½µº Å ÖÓ Ð ØÖÓÑ Ò Ð Ý Ø Ñ Å Å˵¹ ØÓÖ Ò Ü Ø Ò Ò Û Ø ÒÓÐÓ Ý Ø Ø ÓÙÐ ÔÖÓÚ Ò ÒØ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò ÓÚ Ö ÙÖÖ ÒØ Ö Ú Ø ÒÓÐÓ Ý Ø Ó Ø ÑÙ ÐÓÛ Ö Ø Ò ÈÊÇÅ º Å Å˹ ØÓÖ ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ØÓÖ Ø ÒÓÐÓ Ý Ø Ø Ñ Ö Ñ Ò Ø Ö ÓÖ ¹ Ò Ñ Ø Ö Ð Û Ø Ø ÓÙ Ò Ó ÔÖÓ ¹ Ö ÓÖ Ò ØÓ ÔÖÓÚ ÓÒ¹Ð Ò ØÓÖ Ô ØÝ Ó ½ß½¼ Ó Ø Ò ÙÒ Ö ½ Ñ ¾ Ó Ö º Ë ÑÙÐ Ø ÓÒ ÓÛ Ø Ú Ú Ø Ñ Ó ¼º ß½º½ Ñ Ò ØÖ Ñ Ò Ò Û Ø ÙÔ ØÓ ¾¼ Å» º ÙÖØ Ö ÒØ Ö Ø Ò Å Å˹ ØÓÖ Û Ø ÔÖÓ Ò Ð Ñ ÒØ Ð Ý Ø ÓÙÒ Ø ÓÒ ÓÖ Ò Ð ÓÑÔÙØ Ò Ö ÓÒØ Ò Ò ÔÖÓ Ò ÚÓÐ Ø Ð ÔÖ Ñ ÖÝ ØÓÖ Ò ÒÓÒÚÓÐ ¹ Ø Ð ÓÒ ÖÝ ØÓÖ ½¾ º Å Å˹ ØÓÖ Ú Ö Ù ÐØ Û Ø ØÖ Ø ÓÒ Ð ÐÓÛ¹Ó Ø ÎÄËÁ¹ ØÝÐ Ô Ö ÐÐ Ð Ð Ø Ó¹ Ö Ô Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò ÔÖÓ ½¼ Ø Ó Ø Ó ÒØ Ö Ø Ò ÔÖÓ Ò Ð Ñ ÒØ Û Ø Å Å˹ Ñ ØÓÖ ÓÒ Ø Ñ Ô ÓÙÐ ÔÖÓÚ Ò ÒØÐÝ Ð Ø Ò Ò ÕÙ Ú Ð ÒØ ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð Ê Å ÓÐÙØ ÓÒ º Ë Ú Ö Ð Ñ ÖÓÔÖÓ ÓÖ ÓÖ ÙÒ Ö Ó Ù ØÓÑ ÓÑÔÙØ Ø ÓÒ Ð Ò Ò º º ÅÈ Ò¹ Ó» Ó ÖÝÔØÓ Ö Ô Ý Ò Ð ÔÖÓ Ò µ Ö Ø ¹
Ö ØÐÝ Û Ø Å Å˹ ØÓÖ ÓÙÐ Ò ÒØÐÝ ÑÔÖÓÚ Ô Ö ÓÖÑ Ò ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ Ò Ó Ø ÓÚ Ö ØÖ Ø ÓÒ Ð ÑÙÐØ ÓÑÔÓÒ ÒØ ÓÐÙØ ÓÒ º ÐØ ÓÙ Å Å˹ ØÓÖ Ø ÐÐ Ú Ö Ð Ý Ö Û Ý ÖÓÑ ÓÑÑ Ö Ð Þ Ø ÓÒ Ø ÔÓØ ÒØ Ð ÑÔ Ø ÓÒ Ø Ñ Ñ¹ ÓÖÝ Ô Ñ Ø Ø ÒÓÐÓ Ý ÓØ ÑÔÓÖØ ÒØ Ò ÒØ Ö¹ Ø Ò ÓÖ Ý Ø Ñ Ö Ø Ø ³ ÓÒ Ö Ø ÓÒº ÓÐÐÓÛ Ò ÓÒ ÓÙÖ ÔÖ Ú ÓÙ ÛÓÖ ½ Ó Ú ÐÓÔ Ò Ô Ö ÓÖÑ Ò ÑÓ Ð ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ Ò Ü Ñ Ò Ò Ø Ú¹ ÓÖ Ò Ö Û Ô Ö ÓÖÑ Ò Ú Ö Ø Ñ Ñ Ü ÑÙÑ Ö»ÛÖ Ø Ò Û Ø Øºµ Ø ÛÓÖ Ü Ñ Ò Ø ÒØ Ö ¹ Ø ÓÒ Ó Å Å˹ ØÓÖ ÒØÓ Ø Ñ ÑÓÖÝ Ö Ö Ýº Ï Ü Ñ Ò Ø ÑÔ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ ÓÖ ØÛÓ «Ö ÒØ Ù Ó Å Å˹ ØÓÖ Ö ÔÐ ¹ Ñ ÒØ ÓÖ Ö Ú Ò ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð Ñ Û Ø Ò ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Ö Ú ³ Ð ØÖÓÒ º ÇÙÖ Ö ÙÐØ ÓÛ Ø Ø Ö ÔÐ Ò Û Ø Å Å˹ ØÓÖ Ö Ù ÔÔÐ Ø ÓÒ Á»Ç Ø ÐÐ Ø Ñ Ý ß ÓÖ Ø Ó Ú Ð Ý Ø Ñ Ò Ø ÛÓÖ ÐÓ º ÔÔÐ Ø ÓÒ Ô ÙÔ Ö Ò ÖÓÑ ½º ß º º ÈÓÛ Ö ÑÙÐ Ø ÓÒ ÔÖ Ø Ò Ö Ý Ö ÙØ ÓÒ Ý ØÓÖ Ó ÙÔ ØÓ ÓÚ Ö Ø Ø ¹Ó ¹Ø ¹ ÖØ ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú º ÓÑ Ò Û Ø Ø ÜÔ Ø Ø¹ Ø Ö Ó ØÓÐ Ö Ò Ò Ö Ö Ð Ð ØÝ Ø Ñ Å Å˹ ØÓÖ Ø ÒÓÐÓ Ý Ò Ü ÐÐ ÒØ ¹ Ô ØÝ ØÓÖ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÖ ÑÓ Ð ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö ÔÔÐ Ø ÓÒ º ÌÓ Ò ÙÖ Ø Ø ÓÙÖ ÑÓ Ð ÙÖ Ø ÐÝ Ö Ø ÔÓØ ÒØ Ð Ñ¹ ÔÐ Ñ ÒØ Ø ÓÒ Û Ö ÛÓÖ Ò ÐÓ ÐÝ Û Ø Ö Ö Ö Ø Ø ÒØ Ö ÓÖ À ÐÝ ÁÒØ Ö Ø ÁÒ ÓÖÑ Ø ÓÒ ÈÖÓ Ò Ò ËØÓÖ ËÝ Ø Ñ Ø ÖÒ Å ÐÐÓÒ Û Ó Ö Ø Ú ÐÝ ¹ Ú ÐÓÔ Ò ÔÖ Ø Ð Å Å˹ ØÓÖ Ú º Ì Óй Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÐÐÓÛ Ù ØÓ ÜÔÐÓÖ Ø Ý Ø Ñ¹Ð Ú Ð ÑÔ Ø Ó Ú Ö ÓÙ Å Å˹ ØÓÖ Ò Ý Ø ÖÑ Ò Ò Û Ô Ý Ð Ò ØÖ ¹Ó«Ö ÑÓ Ø ÑÔÓÖØ ÒØ ØÓ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ Ò º ÇÙÖ ÐÐÓÛ Ø Ö Ö Ö ØÓ ÓÙ Ø Ö ØØ ÒØ ÓÒ ÓÒ Ò Ô Ö Ñ Ø Ö Ø Ø Ò ÒØÐÝ Ñ¹ Ô Ø Ý Ø Ñ¹Ð Ú Ð Ô Ö ÓÖÑ Ò Û Ð ÚÓ Ò ÓÔØ Ñ Þ Ø ÓÒ Ø Ø ÔÖÓÚ Ð ØØÐ ÔÖ Ø Ð Ò Øº Ì Ö Ñ Ò Ö Ó Ø Ô Ô Ö ÓÖ Ò Þ ÓÐÐÓÛ º Ë ¹ Ø ÓÒ ¾ Ö Å Å˹ ØÓÖ Ò Ñ ÒÝ Ó Ø Ô Ý ¹ Ð Ò ØÖ ¹Ó«Ó Ø Ú º Ë Ø ÓÒ Ö ÓÙÖ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð ØÙÔº Ë Ø ÓÒ ÔÖ ÒØ Ö ÙÐØ ÖÓÑ ÒÙѹ Ö Ó ÔÔÐ Ø ÓÒ ØÙ º Ë Ø ÓÒ Ù ÑÓÖ Ò Ö Ð Ý Ø Ñ¹Ð Ú Ð Ù Ò ÜÔÐÓÖ Û Ö Ò Ó ÔÔÐ Ø ÓÒ ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ º Ë Ø ÓÒ Ö Û ÓÒÐÙ ÓÒ Ò Ù ÓÒØ ÒÙ Ò ÛÓÖ º 2. MEMS-BASED STORAGE 2.1 High-level Device Design Å ÅË Ö Ú ÖÝ Ñ Ðй Ð Ñ Ò Ð ØÖÙØÙÖ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó Ø Ò ØÓ Ø ÓÙ Ò Ó Ñ ÖÓÒ Ö Ø ÓÒ Ð ¹ ÓÒ Ô Ù Ò Ô ÓØÓÐ Ø Ó Ö Ô ÔÖÓ ÑÙ Ð Ø Ó ÑÔÐÓÝ Ò Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò Ø Ò Ö Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ú º Å ÅË ØÖÙØÙÖ Ò Ñ ØÓ Ð Ò ÓÖ Ø Ò Ö ÔÓÒ ØÓ Ò ØÙ ØÓÖ³ Ð ØÖÓ Ø Ø ÓÖ Ð ØÖÓÑ Ò Ø ÓÖ ÓÖ ÜØ ÖÒ Ð ÓÖ º Å ÅË Ñ Ò Ú ÒØ Ö Ø Ò ØÖ Ò Ø Ò Ð Ñ Ø Ø ÓÒ ÓÑÔ Ö ØÓ Ø Ò Ö Ñ Ò Ð Ý Ø Ñ º ÓÖ Ü ÑÔÐ Ð Ö ¹ Ô Ø¹Ö Ø Ó ÒØ Ð Ú Ö Ò Ø Ø ÛÓÙÐ Ð ÙÒ Ö ÐÓ Û Ò Ù ÐØ Ø Ø Ñ ÖÓ ÓÔ Ð Ò Ù ÐØ Ö Ð ÐÝ ÓÒ Ø Ñ ÖÓ ÓÔ Ð º ÙÖ ¾ ÈÖÓØÓØÝÔ ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ý Ø Ñ Ò ÔÖÓ Ø Ôº ¹ Ù Ø Ö ÓÖ Ò Ñ Ø Ö Ð ÒÓØ Ô Ö ØÐÝ Ø Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ý Ø Ñ ÑÙ Ø Ð ØÓ Ø Ú ÐÝ Ù Ø Ø Ø Ó Ø ÔÖÓ Ø Ô º Ì Ø Ô ÓÙÐ Ù ÓÒ Ó Ú Ö Ð Ö ÓÖ Ò Ñ ÖÓÑ ÑÔÐ ØÝÔ ÛÖ Ø Ò Û Ø Ô ÖÑ Ò ÒØ Ñ Ò Ø ØÓ ÑÓÖ ÓÑÔÐ Ü Ñ Ò ØÓÖ Ø Ú Ò Ò Ø Ò ÕÙ ÓÙÒ Ò ÒÓÖÑ Ð Ö Ú º ÓÙÒØ Ö Ü ÑÔÐ Ø ÆÙÐØ ØÓ Ù Ð ÙÖ Ð Ñ ÖÓ Ö¹ Ò ÓÖ ÖÓØ Ø Ò ÓÑÔÓÒ ÒØ ÔÖÓØÓØÝÔ Ó Ñ ÖÓÑ Ò Ö ØÖ Ò Ú ÐÓ ÙÔ ÖÓÑ Ö Ø ÓÒ Û Ø Ò Ú Ö Ð Ø ÓÙ¹ Ò Ö ÚÓÐÙØ ÓÒ º Ù Ó Ø Ð Ñ Ø Ø ÓÒ Ø ÆÙÐØ ØÓ Ö ÔÐ Ø ¹ ØÓÖ Ò ÓÒ Ø Ñ ÖÓ ÓÔ Ð º ÐØ ÖÒ Ø Ú Ò Ù Ö Ø Ò ÙÐ Ö ÔÖ Ò ¹ Ù Ô Ò Ñ Ñ Ð µ Ø Ø ØÖ Ò Ð Ø ØÛÓ¹ Ñ Ò ÓÒ ÐÐÝ Ò¹ Ø Ó ÖÓØ Ø Ò ÓÙØ Ò Ü µ ÖÙÑÚ ÒØ Ø Ö Ø ÓÒ Ð ÖÖ Ö Ò Ö ÔÖÓÚ Ò ØÓ Ñ Ò ÐÐÝ ÖÓ Ù Øº ÇÒ Ð Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú ÙÒ Ö ÒÚ Ø ¹ Ø ÓÒ ÑÔÐÓÝ Ò ÖÖ Ý Ó Ø ÓÙ Ò Ó ÒØ Ð Ú Ö Ñ Ò Ø Ö»ÛÖ Ø ÔÖÓ Ø Ô ÓÛÒ Ò ÙÖ ¾µ ¹ Ò Ò Ù ØÖ Ø Ó Ñ Ò Ø Ñ Ø Ö Ð Ò ÑÙ Ø Ñ Û Ý Ñ Ò Ø ÔÐ ØØ Ö º Ì ¹ Ò Ó«Ö ÒÓØ Ð Ú ÒØ ÓÚ Ö ¹ ØÓÖ ÐÓÒ Ú Ö Ð Ü ÒÐÙ Ò Ø Ñ Ú Þ Ò Ñ Ò Ö Ý ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ Ó Ø ÐÙÖ ÑÓ Ò Ò Ø Ú ØÝ ØÓ Ó º ÅÙÐØ ÔÐ ÔÖÓ Ø Ô Ò ÓÒÙÖÖ ÒØÐÝ Ø Ñ ¹ ØÓ Ú ÓÒ Ó Ú Ö Ð ÓÖÑ Ó Ô Ö ÐÐ Ð Ñ ÐÐ Ø Ô Ò Ù ØÓ Ø ØÓ ÒÖ Ø ÖÓÙ ÔÙص ÓÑ Ø Ô Ò Ù ÓÖ ÖÖÓÖ Ø Ø ÓÒ Ò ÓÖÖ Ø ÓÒ ØÓ Ò Ò Ö Ð Ð Øݵ ÓÖ ÓÑÔÐ Ø ÐÝ Ò Ô Ò ÒØ Ò ÔÖÓ Ò Ô Ö ÐРк ÁÒ Ø ÓÒ Ø Å ÅË Ö Ø ÓÒ ÔÖÓ Ò ÒØ Ö Ø Û Ø Ø Ò Ö ÅÇË ÔÖÓ ½¼ ÓÔ Ò Ò Ø ÓÓÖ ØÓ ÓÑ Ò ÔÖÓ Ò Ò ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ØÓÖ ÓÖ Ð Ö ¹ Ð Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò Ó Ý Ø Ñ¹ÓÒ¹ ¹ Ô Ö Ø ØÙÖ º Å ÅË Ñ ÖÓ ØÖÙØÙÖ Ò Ù ØÓ Ù Ð ØÓÖ ¹ Ú Ò Ú Ö ØÝ Ó Û Ý Ò ÓÒ «Ø Ø Ñ ÒÙ¹ ØÙÖ Ð ØÝ ÖÓ Ù ØÒ Ó Ø Ô ØÝ Ô Ò Ð Ø ÒÝ Ó Ø Ú º ÙÖ Ô Ø ÓÒ ÔÖÓÔÓ Å Å˹ ØÓÖ Òº ÁÒ Ø Ü Ñ ÑÓ Ð Ñ Ò ØÙÖ ÒØ Ð Ú Ö Ä¹ Ô Ñ Ù Ô Ò ÔÖÓ Ø Ô ÓÚ Ö Ü Ñ Ò Ø Ù ØÖ Ø º ÎÓÐØ ÔÔÐ ØÓ ¹ ØÓÖ Ò Ö Ø Ð ØÖÓ Ø Ø ÓÖ Ò Ø Ò Ö Ø ÓÒ Ö Ô ÐÝ ÑÓÚ Ò Ø Ø Ô ØÓ «Ö ÒØ Ø ÔÓ Ø ÓÒ º ËØ Ò Ö Ñ Ò Ø Ö ÓÖ Ò Ø Ò ÕÙ Ö Ù ØÓ Ö ÓÖ ÛÖ Ø Ø Ø Û Ø Ø Ñ ÙÒÐ Ñ Ø ÒÙÑ Ö Ó Ö Ò ÛÖ Ø Ý¹ Ð ÓÙÒ Ò Ö Ú º Ì Ò ÖÐÝ¹Ñ Ð ÒØ Ð Ú Ö Ñ Ò Ð Ú ÖÝ ÕÙ ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ø Ñ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó Ø Ò ØÓ ÙÒ Ö Ó Ñ ÖÓ ÓÒ µ ÙØ Ø Ô Æ ÒÝ
Y deflectors Tip X actuator Anchor Y actuator Accessible area Spring Cantilever beam X deflectors Anchor Media sled Tip array ÙÖ ÒØ Ð Ú Ö ¹ Ñ ÔÖÓ Ø Ô Ò Ø Ü Ñ ¹ ÑÓ Ðº Ì ¹ Ò ¹ ØÓÖ Ö Ô Ð Ó ÕÙ ÐÝ ÔÓ ¹ Ø ÓÒ Ò Ø Ø Ô ÒÝÛ Ö ÒØ Ñ ÐÐ Ð Ö º Ì ÓÚ Ö ÐÐ Ô ØÝ Ó Ø ÑÓ Ð Ð Ñ Ø ØÓ Ø Ò ÓÖ Ô Ö Ô ÙÒ Ö Ó Ñ ÝØ Ù ÓÒÐÝ ½± Ó Ø Ñ Ö Ð Ý Ø Ø Ôº ÔÓÓÖ ÓÒÐÝ ÓÙØ ½± Ó Ø ÔÓØ ÒØ Ð Ñ Ö Ò Ù ÓÖ ØÓÖ º ÁÒ ÓÑÔ Ö ÓÒ ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Ö Ú Ù ÓÙØ ¼± Ó Ø Ö ÔÐ ØØ Ö Ö ÓÖ Ø ØÓÖ º Ì Ò Ù ÙÐ ÓÖ Ú Ù Ð Þ Ò Å Å˹ ØÓÖ ÙØ Ø ÜÔ Ø Ô ØÝ Ó ÓÒÐÝ Ø Ò ØÓ ÙÒ Ö Ó Ñ ÝØ Ô Ö Ú Ð Ñ Ø Ø ÔÖ Ø Ð ØÝ Ò ÓÑÔ Ö ÓÒ ØÓ Ð Ê Å ØØ Öݹ Ê Å Ò ÓØ Ö ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ÔÖ Ñ ÖÝ ØÓÖ ÓÑÔÓÒ ÒØ º Ê Ö Ö Ø ÖÒ Å ÐÐÓÒ Ö ÒÚ Ø Ø Ò ÑÓÖ Ñ ¹ Æ ÒØ Ú Ò ÙÖ µº ÁÒ Ø ÑÓÚ Ò Ñ ¹ ÑÓ Ð Ö Ø Ò ÙÐ Ö Ñ Ð Ù Ô Ò Ý ÔÖ Ò ÓÚ Ò ÖÖ ÝÓ Ú Ö Ð Ø ÓÙ Ò Ü ÔÖÓ Ø Ô º ¹ Ú ³ ÓÓØÔÖ ÒØ ÓÙØ ½ ½ ÑÑ Û Ø Ù Ð Ö ÓÒ Ø Ñ Ð Ó ÓÙØ ÑѺ ÍÔ ØÓ ½¼ ¼¼¼ Ø Ô Ò Ö Ø ÓÚ Ö Ø ÑÑ Ö º ÙÑ Ò Ø ÐÐ Ó ¼º¼¼¾ Ñ ¾ ¼ ÒÑ Ô Ö µ Ò ÒÓ Ò» ÓÚ Ö Ó ¾ Ø Ô Ö ÝØ Ú ³ Ø ØÓÖ Ô ØÝ ÓÙØ º ÑÓÖ Ö Ú Ó Ð Ó ¼º¼¼¼ Ñ ¾ ¼ ÒÑ Ô Ö µ Ý Ð Ô Ø Ó ½½ ÓÖ Ö Ø Öº Ï Ð Ø Ú Ò ÑÔÖÓÚ Ô Æ ÒÝ ØÓ ¼ß ¼± Ø Ö Ø Ö Ð Ñ ÒÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ø Ñ Ö Ð Ø Ú ØÓ Ø Ü Ñ ¹ Ò ÓÚ Ò ÖÝ ØÖ Ó«ØÓ Ú ¹Ð Ô Ø º ÓÖ ÑÓÖ Ø ÓÖÓÙ Ö ÔØ ÓÒ Ó Ø Ö ¹ Ø Ö Ø Ó Ø Ò Ê Ö Ò Ò ½ º 2.2 Data Layout and Access Characteristics Ì Ð ³ Ñ Ò Ø Ñ ÓÖ Ò Þ ÒØÓ Ö Ø Ò ÙÐ Ö Ö ¹ ÓÒ ÓÛÒ Ò ÙÖ º Ö ÓÒ ØÓÖ Å Æ Ø º º ¾¼¼¼ ¾¼¼¼µº Ì Ö ÓÒ ¹ØÓ¹ÓÒ Ñ ÔÔ Ò ØÛ Ò Ö ÓÒ Ò Ø Ô Ø Ô Ø ÜÐÙ Ú Ö ÓÒ Ó Ø Ñ º Ø Û Ø Ò Ö ÓÒ Ö ÖÓÙÔ ÒØÓ Ú ÖØ Ð ¼¹ Ø ÓÐÙÑÒ ÐÐ Ø Ô ØÓÖ Ø Ô ØÓÖ ÓÒØ Ò ½¼ Ø Ó Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ Ò ¼ ÒÓ Ø Ø ÔÖÓ¹ Ú Ò Ø ÝØ º Ì ¹ ÝØ Ø Ô ØÓÖ Ø Ñ ÐÐ Ø Ð ÙÒ Ø Ó Ø Ò Å Å˹ ØÓÖ º ÖÓÙÔ Ó Ø Ô ØÓÖ ÖÓÑ Ô Ö Ø Ö ÓÒ Ñ Ý ÓÑ Ò ÒØÓ ½¾¹ ÝØ ÐÓ Ð ØÓÖ Ò ÐÓ ÓÙ ØÓ ÐÓ Ð ÐÓ Ò Ë ËÁ º Ì ØÖ Ô Ò ÓØ ÔÓ Ð Ò ÔÖ Ø Ð Ù ÙÒÐ ÑÓ Ø ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Ð Ö ÒÙÑ Ö ¾¼¼ß¾¼¼¼µ Ó ÔÖÓ Ø Ô Ò ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ Ø Ñ º ËØÖ Ô Ò ÙÖ Ì ÑÓÚ Ò Ñ ÑÓ Ðº Ì Ñ Ð ØØ ÐÓÛ Ø Ü Ø Ô º Ì Ð Ò ÑÓÚ ÐÓÒ Ø Ò Ü ÐÐÓÛ Ò Ø Ü Ø Ô ØÓ Ö ¼ß ¼± Ó Ø ØÓØ Ð Ñ Ö º ÐÓ Ð ÐÓ ÖÓ Ø Ô ØÓÖ Ò ÑÙÐØ ÔÐ Ö ÓÒ Ö Ù Ø Ñ Ò ÒÖ Ò Û Ø Ö Ð Ð ØÝ Ò ÙÐØ ØÓÐ Ö Ò º ÌÓ Ø Ð ØÖÓ Ø Ø ØÙ ØÓÖ Ô Ø Ú ÓÑ Ò¹ Ö µ ÔÙÐÐ Ø Ð ØÓ ÖØ Ò Ü Ý Ó«Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ø Ø Ô ÓÚ Ò Ü Ø ÐÓ Ø ÓÒ ÓÒ Ø Ñ ÝÑÓÚ Ò Ø Ñ Ø Ò Ö Ø Ð Ù Ø Ø Ø Ú Ø Ô Ö ÓÖ ÛÖ Ø Ò ÒØ Ö Ø Ô ØÓÖ º º Ù Ø Ø ÖÓÙÔ Ó Ø Ô Û ÓÐ ÐÓ Ð ØÓÖ µº Ò Ø ÖÐ Ö Ò Ø ÔÖÓ Ø Ô Ö ÓÖ ÛÖ Ø Ø Ù Ò Ø Ò Ö Ñ Ò Ø Ö ÓÖ Ò Ø Ò ÕÙ º ÈÓ Ø ÓÒ Ò Ø Ð ÓÖ Ö ÓÖ ÛÖ Ø ÒÚÓÐÚ Ú Ö Ð Ñ ¹ Ò Ð Ò Ð ØÖ Ð Ø ÓÒ º ÌÓ ØÓ Ö ØÓÖ Ø ÔÔÖÓÔÖ Ø ÔÖÓ Ø Ô ÑÙ Ø Ø Ú Ø Ø Ð ÑÙ Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø Ø Ô Ö ÓÚ Ø Ö Ø Ø Ó Ø ÔÖ ¹ ØÓÖ ÖÚÓ Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ Ò Ø Ð ÑÙ Ø ÑÓÚ Ò Ò Ø ÓÖÖ Ø Ö Ø ÓÒ Ø Ø ÓÖÖ Ø Ú ÐÓ ØÝ ÓÖ º Ï Ò Ú Ö Ø Ð ÑÓÚ Ò Ò ÜØÖ ÓÒ Ø ÒØ ØØÐ Ò Ø Ñ ÑÙ Ø Ø Ò ÒØÓ ÓÙÒØ Ø Ö Ô Ð Ö Ø ÓÒ Ò Ð Ö Ø ÓÒ Ó Ø Ð Ù Ø ÔÖ Ò ¹ Ð Ý Ø Ñ ØÓ ÑÓÑ ÒØ Ö ÐÝ Ó ¹ ÐÐ Ø Ò ÓÖ ÑÔ Ò ØÓ Þ ÖÓ ÑÓØ ÓÒº Ì Ð Ð Ó Ó ÐÐ Ø Ò ÓÛ Ú Ö Ø Ñ Ò Ø Ò Ò ÐÓ ÜÔ Ø ØÓ ÓÑÔ Ò Ø ÓÖ Ø ÑÓØ ÓÒºµ ÁÒ Ø ÓÒ Ø ÔÖ Ò ÔÔÐÝ Ö ØÓÖ Ò ÓÖ ØÓÛ Ö Ø Ð ¹ Ø¹Ö Ø ÔÓ¹ Ø ÓÒ ÒÖ Ò ÓÖ Ö Ò Ø «Ø Ú Ð ØÙ Ø Ò ÓÖ Ý ÑÙ ±º Å Ö ÕÙ Ö Ø Ø Ø Ð ÑÓÚ Ø ÓÒ Ø ÒØÚ ÐÓ ØÝ Ò Ø Ö Ø ÓÒº Ì Ú ÐÓ ØÝ Ò Ô Ö Ñ Ø Ö Ò Ø ÖÑ Ò Ý Ø Ñ Ü ÑÙÑ Ô Ö¹Ø Ô Ö Ò ÛÖ Ø Ö Ø Ø Ø Û Ø Ò Ø Ñ Ü ÑÙÑ Ð Ð Ö Ø ÓÒº Ä Ö ØÖ Ò Ö ÓÙÐ Ô Ò ÑÙÐØ ÔÐ ÓÐÙÑÒ Ó Ø Ö ÕÙ Ö¹ Ò Ø Ð ØÓ Ô Ö ÓÖÑ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ö Ú Ö Ò Ö Ø ÓÒ Ù Ø Ø Ø Ð Ò ÙÔ Ò Ø Ñ ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ö Ú Ö Ú ÐÓ Øݵ Ò Û Ø Ø Ø Ó Ø Ú Ø Ô º Ì ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ ÜÔ Ø ØÓ ÓÑ Ò Ø ÒÝ Ø ÓÒ Ð Ø Ú ØÝ Ù Ø Ø Ñ ØÓ Û Ø Û Ø Ô Ö Ø Ú º 2.3 Other MEMS-based Storage Examples Ì Ö Ö Ú Ö Ð ÓØ Ö Ö Ö Ð ÓÖ ØÓÖ ÔÙÖ Ù Ò ÔÖÓ ¹ ØÓÖ Ö Ö ÔÖÓ Ø ÒÐÙ Ò Á Å À ÛÐ ØØ¹È Ö Ã ÓÒ Ü Ò Æ ÒÓ Ô ¾ º Á ų
M bits Sweep area of one probe tip N bits Bit 0 1 2 Servo Info Encoded Data Servo Info Encoded Data Y X N-1 Bit 0 1 2 M-1 Sweep area of one probe tip Servo Info ÙÖ Ø ÓÖ Ò Þ Ø ÓÒ Ó Å Å˹ ØÓÖ º Ì ÐÐÙ ØÖ Ø ÓÒ Ô Ø Ñ ÐÐ ÔÓÖØ ÓÒ Ó Ø Ñ Ò Ø Ñ Ð º Ö Ø Ò Ð ÓÙØÐ Ò Ø Ö ÓÒ Ð Ý Ò Ð ÔÖÓ Ø Ô Û Ø ØÓØ Ð Ó ½ Ö ÓÒ ÓÛÒº ÙÐÐ Ú ÓÒØ Ò Ø ÓÙ Ò Ó Ø Ô Ò Ö ÓÒ ºµ Ö ÓÒ ØÓÖ Å Æ Ø ÓÖ Ò Þ ÒØÓ Ú ÖØ Ð Ø Ô ØÓÖ ÓÒØ Ò Ò ÒÓ Ø Ò Ø º Ì Ø Ô ØÓÖ Ö Ñ Ö Ø Ý ÖÚÓ Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ ØÖ Ò Ø Ø ÒØ Ý Ø ØÓÖ Ò ØÖ Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ ÒÓ ÓÒ º Ì ÖÚÓ Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ ÜÔ Ø ØÓÖ ÕÙ Ö ÓÙØ ½½± Ó Ø Ú Ô Øݺ ÌÓ Ö ÓÖ ÛÖ Ø Ø Ø Ñ Ô ÙÒ Ö Ø Ø Ú Ø Ô µ Ò Ø Ö Ø ÓÒ Û Ð Ø Ø Ô Ø Ñ º Ò Ø Ð «ÓÖØ ÑÔÐÓÝ ÒØ Ð Ú Ö ÔÖÓ Ø Ô Ø Ø Ñ ÐØ Ô Ø ÒØÓ ÖÓØ Ø Ò ÔÓÐÝÑ Ö º Á ų ÑÓÖ Ö ÒØ Å Ð¹ Ð Ô ÔÖÓ Ø Ù ÐØ ÛÓÖ Ò ÔÖÓØÓØÝÔ ÓÑ Ò Ò ÑÓÚ Ò Ñ Ð Û Ø ¾ ¾ ØÓÑ ÓÖ Ñ ÖÓ ÓÔ ¹ ÔÖÓ Ø Ô ÖÖ Ýº ÌÛÓ Ø ÖØÙÔ ÓÑÔ Ò Ã ÓÒ Ü Ò Æ ÒÓ Ô Ö Ð Ó Ú ÐÓÔ Ò ÔÖÓ ¹ Ñ Ò Ø ØÓÖ¹ Ö Ø ØÙÖ Û Ø ÑÓÚ Ò Ñ º à ÓÒ Ü Ù ØÓÑ ÓÖ Ñ ÖÓ ÓÔ ¹ Ø Ô Û Ð Æ ÒÓ Ô ÑÔÐÓÝ Ñ ÐÐ ÒÒ Ò ØÙÒÒ Ð Ò Ñ ÖÓ ÓÔ ¹ Ø Ô º Ï Ð Ø Ò «Ö Ò ÒØÐÝ Ò Ø Ö Ö»ÛÖ Ø Ñ Ò Ñ ÑÓ Ø Ù Ñ Ð Ö Ñ Ð Ò ½ º ÙÖØ Ö Á ų Ò Æ ÒÓ Ô³ Ò Ô Ö Ñ Ø Ö Ò Ô Ö ÓÖÑ Ò Ø ÐÓ ÐÝ Ñ Ø ÓÙÖÓÛÒ Ö ÙÐØ º ÐÐ Ú ÓÙØ Ø Ñ Ø Ò ØÝ Ó ÔÔÖÓÜ Ñ Ø ÐÝ ¾ ¼ Ø» Ò ¾ Û Ô Ø Ð ÓÙØ ¼ Ñ Ò Ò Ò ÙÒ Ö ¼º º ÀÓÛ Ú Ö Ö Ø Ø Ö Ø Ú Ö Ò ÒØÐÝ Û Ø Æ ÒÓ Ô ÙÔ¹ ÔÓÖØ Ò º½ Å» ÖÓ ¼¼ ÔÖÓ Ø Ô Û Ð Á Å ÙÔÔÓÖØ ¾ ¼ Å» ÖÓ ½¼¼¼ ÔÖÓ Ø Ô º ÓØ Æ ÒÓ Ô Ò Á Å ÙÖÖ ÒØÐÝ Ö ÕÙ Ö Ô Ö Ø Ö ÝÐ ÓÖ ÛÖ Ø Ò Ò Û Ø º Ï Ð «Ö Ò Ü Ø ØÛ Ò Ø Ú Ö ÓÙ ÔÖÓ Ø Ò ÑÓ Ø ÑÔÐÓÝ Ñ Ð Ö ØÓÖ Ö Ø ØÙÖ Û Ø Ø Ö Ñ Ð ÓÖ Ð Ö ÖÓÙÔ Ó ÔÖÓ Ø Ô ÑÓÚ Ò Ò Ø Ò Ö Ø ÓÒ º Ì Ö ÓÖ Ø ØÙ Ý Ù Ø ÖÒ Å ÐÐÓÒ Å ÅË Ä ÓÖ ØÓÖݳ ÑÓÚ Ò Ñ ÑÓ Ð ÓÖ ÕÙ ÒØ Ø Ø Ú Ò ÐÝ Ó ÙØÙÖ Å Å˹ ØÓÖ Ý Ø Ñ º 2.4 Physical Characteristics and Trends of MEMS-based Storage Å Å˹ ØÓÖ Ú Ú Ö Ø Ó Ô Ý Ð Ö¹ Ø Ö Ø º º Ð Ö Ø ÓÒ Ú ÐÓ Øݵ Ò Ö Ø ¹ ØÙÖ Ð Ö Ø Ö Ø º º Ð ÝÓÙØ Ó Ø ÒÙÑ Ö Ó Ð µ ½ Ï Ð Ú Ø Ø À ÛÐ ØØ¹È Ö ÔÙÖ Ù Ò Ñ Ð Ö Ú Ò ÙÒ ÓÖØÙÒ Ø ÐÝ ÒÓ ÔÖÓ Ø Ø Ð Ö Ú Ð Ð Ø Ø Ø Ñ Ó Ø ÔÙ Ð Ø ÓÒº Ø Ø Ö ØÐÝ ÑÔ Ø Ø Ô ØÝ Ò Û Ø Ð Ø ÒÝ Ö Ð ¹ Ð ØÝ Ò ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ Ó Ø Ò Û Ø ÒÓÐÓ Ýº ÛÓÙÐ ÜÔ Ø Ø Ô Ý Ð Ö Ø Ö Ø Ó Å Å˹ ØÓÖ Ó Ø Ò ÓÒ ØÖ Ò Ö Ø ØÙÖ Ð Ò º ÓÖ Ü¹ ÑÔÐ Ô Ò Ò ÔÓÛ Ö Ô Ø ÓÒ ÓÒ ØÖ ÒØ Ð Ñ Ø Ø ÒÙÑ Ö Ó Ø Ô Ø Ø Ò ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ Ø Ú º Ö ÒØ Ò ÐÝ Ø Ñ Ø ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ Ø ½ ÑÏ Ô Ö ¹ Ø Ú Ø Ô ÔÐÙ ½¼¼ ÑÏ Ó ÓÚ Ö ÓÖ Ø Ñ ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ý Ø Ñº ÁÒ Ò Û Ø ½¼ ¼¼¼ ÔÖÓ Ø Ô Ù Ò ÐÐ Ó Ø Ø Ô ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ ÓÒ ÙÑ ½¼º½ Ï ÓÙØ ½¼ ÑÓÖ ÔÓÛ Ö Ø Ò ÐÓÛ¹Ó Ø ÔÐ Ø Ô Ò Ò ØÓÐ Ö Ø º Ì Ð ½ ÓÙØÐ Ò Å Å˹ ØÓÖ ³ «Ö ÒØ Ô Ý Ð Ô Ö Ñ Ø Ö Ø Ø Ö ÑÓ Ø ÑÔÓÖØ ÒØ ÖÓÑ Ò Ö Ø ØÙÖ Ð ÔÓ ÒØ Ó Ú Ûº Ì ÓÐÐÓÛ Ò Ô Ö Ö Ô Ö Ô ¹ Ö Ñ Ø Ö Ø Ø ÒÓÐÓ Ý ØÖ Ò Ø Ø Ò Ð ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ ÓÖ Ü ÑÔÐ Ö Ò Ø Þ µ Ò Ø Ö Ö Ð Ø ÓÒ Ô ØÓ Ú Ô Ö ÓÖÑ Ò Ö Ø Ö Ø º Ø Þ º Ì Ø Þ Ø ÖÑ Ò Ý Ø Ö Ð Ò ØÝ Ó Ø ØÓÖ Ñ Ò Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø ÔÖÓ Ø Ô º Ì Ñ Ð ³ Ñ Ò Ø Ö ÓÖ Ò ÐÑ Ñ Ð Ö ØÓ Ø Ø Ó ÙÖÖ ÒØ Ö Ú Ñ Û Ö Ø Ò Ø Ó ÓÚ Ö ¼ Ø» Ò ¾ ¾¼ Ò ÒÒÙ Ð ÖÓÛØ Ö Ø Ó ½¼¼± Ô Ö Ý Ö ¾ Ú Ò Ó ÖÚ º ÍÒÐ Ö Ú Û Ù ÐÓÒ ¹ ØÙ Ò Ð Ö ÓÖ Ò Ø Ò ÕÙ ØÓ ÛÖ Ø Ö Ø Ò ÙÐ Ö Ø Û Ø ½ ½ Ô Ø Ö Ø Ó Å Å˹ ØÓÖ Ù Ô ÖÔ Ò Ù¹ Ð Ö Ö ÓÖ Ò Ø Ò ÕÙ Ø Ø Ö Ø ÕÙ Ö Ø ÔÓØ º Ù¹ ØÙÖ Ö Ú Ñ Ø Ð Ó ÙØ Ð Þ Ø Ø Ò ÕÙ ØÓ Ú Ö Ñ Ò Ø º Ì Ò Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø Å ÅË ØÙ ØÓÖ ÓÛ Ú Ö Û ÐÐ ÐÐÓÛ Å Å˹ ØÓÖ¹ Ú ØÓ Ñ ÐÐ Ö ÔÓØ Ø Ò Ð Ò ØÓ Ú Ò Ö Ø Ö Ø Ò Ø º Î ÐÓ Øݺ Ì Ú ÐÓ ØÝ Ó Ø Ñ Ð ÓÙÒ Ý Ø «Ø Ú ØÙ ØÓÖ ÓÖ º Ì «Ø Ú ¹ ØÙ ØÓÖ ÓÖ Ø ÙÑ Ó Ø ÓÖ ÖÓÑ Ø ØÙ ØÓÖ Ò Ø Ö ØÓÖ Ò ÓÖ Ó Ø ÔÖ Ò º Ì Ð Ñ Ø Ñ Ò Ø Ø Ð
ØØÐ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ô Ô ØÝ ÔÓÛ Ö Ö Ð Ð ØÝ Ø Ñ Ø Ñ Ø Ñ Ò Û Ø Ö Ò Ø Þ ß ÒÖ Ò Ð Ú ÐÓ ØÝ ß»ß ß ÒÖ Ò Ð Ð Ö Ø ÓÒ ÒÖ Ò ØÙ ØÓÖ ÓÖ ß ß ß Ö Ò Ð Ñ ß ß ß ß ÒÖ Ò ÔÖ Ò Ø «Ò»ß ß»ß ÒÖ Ò Ó Ð ß ß ß ß ÒÖ Ò Ó Ø Ú Ø Ô ÒÖ Ò ÖÖÓÖ Ö Ø ß ß ß Ì Ð ½ Å Å˹ ØÓÖ Ú ³ Ô Ý Ð Ö Ø Ö Ø Ø Ö ÔÖÓ Ø ØÖ Ò Ò ÔÖÓ Ø ÑÔ Ø ÓÒ Ú Ô Ö ÓÖÑ Ò º Ö Ò Ô Ö ÓÖÑ Ò Ö ÒÓØ Û Ø ß Û Ð ÒÖ Ö ÒÓØ Ý º ÓÖ Ü ÑÔÐ Ö Ò Ø Þ Û Ñ ÔÓ Ð ÝØ ÒÓÐÓ Ý Ú Ò Ò Ñ Ò Ø Ñ Ø Ö Ð ÓÙÐ ÒÖ Ø ØØÐ Ø Ñ Ù Ø Û ÐÐ Ø ÐÓÒ Ö ØÓ ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ø Ô ÓÚ Ö Ñ ÐÐ Ö Øº Ò Ø Ö Û Ý º Ö Ø Ö Ú ÐÓ ØÝ Û ÐÐ Ö ÕÙ Ö Ø Ø Ø Ð Ð Ö Ø ÓÖ ÐÓÒ Ö Ô Ö Ó Ó Ø Ñ ØÓ Ö ÑÔ ÙÔº Á ØÓÓ ÑÙ Ø Ñ Ô ÒØ Ð Ö Ø Ò ØÓ Ø Ú ÐÓ ØÝ Ö ÓÒ Ó Ø Ñ Û ÐÐ ÓÑ Ò Ð º Ë ¹ ÓÒ Ø Ú ÐÓ ØÝ ÒÖ Ø Ø Ñ ØÓ ØÙÖÒ Ø Ð ÖÓÙÒ Ø Ø Ò Ó Ø ØÖ ÒÖ º ÁÒ Ø Û Ý Ö Ú ÐÓ Ø Ö ÒÓØ Ù ÙÐ Ù Ø Ð Û ÐÐ ÐÓ ØÓÓ ÑÙ Ø Ñ ØÙÖÒ Ò ÖÓÙÒ º Ì ÜÔÐÓÖ ÑÓÖ Ø ÓÖÓÙ ÐÝ Ò ½ º Ä ØÐÝ Û Ð Ø Ð ØÙÖÒ Ò ÖÓÙÒ Ø Ñ Ý Ô ØÓÓ Ö ÝÓÒ Ø Ò Ó ØÖ Ò Ö ÒØÓ Ø ØÙ ØÓÖ Ù Ò Ñ ØÓ Ø Ú º ËÐ Ð Ö Ø ÓÒº Ì Ñ Ü ÑÙÑ Ð Ð Ö Ø ÓÒ ÓÙÐ ÒÖ Ò Ø Ö Û Ý ½µ ÒÖ Ò Ø «Ø Ú ØÙ¹ ØÓÖ ÓÖ Ý ÒÖ Ò Ø ÚÓÐØ ÙÔÔÐ ØÓ Ø ÔÓ Ø ÓÒ¹ Ò Ý Ø Ñ ÓÖ ÒÖ Ò Ø ÔÖ Ò Ø «Ò ¾µ Ö Ò Ø Ð Ñ Û Û ÐÐ ÓÑ ÔÓ Ð Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò Ø ÒÓÐÓ Ý ÚÓÐÚ ØÓ ÐÐÓÛ ÙÐй ØÖ Ò Ø ÓÐÐÓÛ ¹ÓÙØ Ñ ¹ Ò Ð ØÖÙØÙÖ µ µ ÑÔÐÓÝ Ò ÐØ ÖÒ Ø ØÙ ØÓÖ ¹ Ò Ù Á ų Ñ ÖÓÑ Ò Ø ØÙ ØÓÖ º ËÔÖ Ò Ø «Ò º ËÔÖ Ò Ø «Ò Ø ÖÑ Ò Ý Ø Ø Ò Ó Ø ÔÖ Ò Ñ º ÖØ Ò ÑÓÙÒØ Ó ÔÖ Ò Ø «Ò Ò ÖÝ ØÓ ÙÔÔÓÖØ Ø Ñ Ð Ò ØÓ ÚÓ Ñ ÖÓÑ Ø Ú Ö ÓÙ ÓÖ ÒÓÙÒØ Ö ÙÖ Ò Ñ ÒÙ¹ ØÙÖ Ò Ô Ñ Ðݵ Ò ÓÑÑÓÒ ÜØ ÖÒ Ð Ó Ô¹ Ô Ò ÒÓÖÑ Ð Ù Ò ÑÓ Ð ÒÚ ÖÓÒÑ ÒØ µº Ì Ñ Ü ÑÙÑ ÔÖ Ò Ö ØÓÖ Ò ÓÖ ÒÖ Ø ÔÖ Ò Ø «Ò Ò¹ Ö Ò ÒÒÓØ Ü Ø Ú Ð Ð ØÙ ØÓÖ ÓÖ º ÆÙÑ Ö Ó Ð º ÁÒÖ Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó Ð Ò Ö Ø ØÙÖ Ð Ò Ó º ÁÒ Ø Ó Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò ÓÒ Ð Ö Ð ÖÓ ÐÐ Ó Ø ÔÖÓ Ø Ô Ø ÓÙÐ ØÖ Ø¹ ÓÖÛ Ö ØÓ Ö Ø ÓÙÖ Ò Ô Ò ÒØ Ð ÓÖ Ü ÑÔÐ Û Ø Ø Ö ÓÛÒ ØÙ ØÓÖ º ÐØ ÓÙ Ø Ñ Ø Ö Ô Ö¹ Ú Ô ØÝ Ù Ó Ø Ô ÓÚ Ö Ó Ø ÜØÖ ØÙ ØÓÖ µ Ø Û ÐÐ Ð ÐÝ ÑÔÖÓÚ Ö ÕÙ Ø ÖÚ Ø Ñ Ý Ñ¹ ÔÖÓÚ Ò ÒØ ÖÒ Ð Ô Ö ÐРРѺ Ò ÐØ ÖÒ Ø Ú Ø ÑÙÐØ ÔÐ Ð ÓÙÐ Ù Ò Ê Á ¹ ØÝÐ Ö ÙÒ ÒÝ Ñ Ñ¹ ÔÖÓÚ Ò ÙÐØ ØÓÐ Ö Ò Ò Ö Ð Ð ØÝ Ó Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú º ÆÙÑ Ö Ó Ø Ú Ø Ô º ÁÒÖ Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó ÓÒÙÖ¹ Ö ÒØÐÝ Ø Ú Ø Ô Ò Ö Ø ØÙÖ Ð Ò Ó Ø Ò Ó º Ñ ÒØ ÓÒ ÓÚ ½¼ ¼¼¼ ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ Ø Ú Ø Ô ÛÓÙÐ ÓÒ ÙÑ ½¼º½ Ï Ò ÓÖ Ö Ó Ñ Ò ØÙ ÑÓÖ ÔÓÛ Ö Ø Ò ÐÓÛ¹Ó Ø ÔÐ Ø Ô Ò Ò ØÓÐ Ö Ø Ö ÕÙ Ö Ò ÑÓÖ Ü¹ Ô Ò Ú Ô Ò Ø ÒÓÐÓ Ô Ð Ó Ô Ø Ò ÑÓÖ Øº ÖÖÓÖ Ö Ø º ÖÖÓÖ Ö Ø Ö ÔÖÓÔ ÖØÝ Ó Ø Ñ ÒÙ ¹ ØÙÖ Ò ÔÖÓ Ò Ø Ñ Ò Ø Ñ Ø Ö Ð Ù º ÁÒ Ö Ú Ò Ö Û Ñ ÖÖÓÖ Ö Ø ÒÖ Û Ø Ö Ö Ð Ò Ø Ò Ö ÓÑÔ Ò Ø ÓÖ Ý Ù Ò ÑÓÖ ÔÓÛ Ö ÙÐ ÖÖÓÖ¹ÓÖÖ Ø ÓÒ Ó º Å Å˹ ØÓÖ Ò Ò Ø Ò Ø Ñ Û Ýº ÙÖØ Ö Ø Ò Ù Ê Á ¹Ð ÖÖÓÖ Ø Ø ÓÒ Ò Ö ÓÚ ÖÝ ÖÓ ÔÖÓ Ø Ô Ú Ò ÓÑÔÐ Ñ ÒØ ØÓ Ø ÑÙÐØ ÔÐ ¹ Ð ÓÖ ÑÙÐØ ÔÐ ¹ Ú µ Ê Á Ñ Ñ ÒØ ÓÒ ÓÚ º 2.5 Performance Characteristics and Trends Ì Ð ½ Ð Ó Ð Ø ÓÛ Ø ÒØ Ö Ø ÓÒ ØÛ Ò Ô Ý Ð Ô Ö Ñ Ø Ö Ò ÓÚ Ö ÐÐ Ú Ô Ö ÓÖÑ Ò Ö Ø Ò ÒØ Ö¹ Ø Ò Ø Ó Ö Ð Ø ÓÒ Ò ØÖ ¹Ó«º Ì Ø ÓÒ ÓÙØÐ Ò ÑÓ Ð Ó ÓÛ Ú Ö Ð Ò Ó ÑÔ Ø Ø Ú Ö ÓÙ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ô Ö Ñ Ø Ö º Ë Ø Ñ º Ì ÓÒ ÓÐÙÑÒ Ó Ì Ð ½ ÓÛ Ø Ñ¹ Ô Ø Ó Ø Ô Ý Ð Ô Ö Ñ Ø Ö ÓÒ Ø Ñ Ð ÔÓ Ø ÓÒ¹ Ò Ø Ñ Ò Ò µº ÁÒÖ Ò Ø Ð ³ Ú ÐÓ ØÝ ÒÖ Ø ¹ Ö Ø ÓÒ Ø Ñ Ý ÒÖ Ò Ø Ø Ñ Ö ÕÙ Ö ØÓ Ö ÑÔ ÙÔ ØÓ Ø Ú ÐÓ ØÝ Ø Ö Ø Ð Ô Ö ÓÖÑ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ µº ¹ Ö Ø ÓÒ Ø Ñ Ó ÒÓØ Ò Ù Ø Ò Ø Ð Ò Ò Ð Ú ÐÓ ØÝ Ò Þ ÖÓº Ë Ø Ñ Û ÐÐ Ö Ð Ö Ø ÓÒ ÒÖ Ù ØÓ Ø Ö ÒÖ ¹ Ò ØÙ ØÓÖ ÓÖ ÓÖ Ö Ò Ð Ñ º Ï Ø ÒÖ Ò ÔÖ Ò ÓÖ Ø ÑÔ Ø ÓÒ Ø Ñ Ô Ò ÒØ ÓÒ Ø Ò Ø Ð Ò Ò Ð Ð ÐÓ Ø ÓÒ º ÓÖ Ü¹ ÑÔÐ Ø Ð Ò Ö Ø Ó Ø Ñ º º ÐÓ ØÓ ÙÐÐ ÔÐ Ñ Òص Ø ÔÖ Ò ÓÖ Ò Ö Ø Ñ Ü ÑÙÑ ÔÙÐÐ Ò Ø Ð ØÓÛ Ö Ø ÒØ Ö Û Ð Ø ØÙ ØÓÖ ÓÖ ÔÙÐÐ Ò Ø Ð ØÓÛ Ö Ø º Ë Ò Ø ÔÖ Ò ÓÖ Ø Ñ Ü ÑÙÑ ÔÐ Ñ ÒØ ÔÖ Ø ØÓ ÙÔ ØÓ ± Ó Ø ØÙ ØÓÖ ÓÖ Ø «Ø Ú ØÙ ØÓÖ ÓÖ Û Ò ÑÓÚ Ò Û Ý ÖÓÑ Ø ÒØ Ö ÓÒÐÝ ¾ ± Ø ÙÐÐ ÔÐ Ñ Òغ Ä ¹ Û Ø «Ø Ú ÓÖ Û Ò ÑÓÚ Ò ØÓÛ Ö Ø ÒØ Ö Ò ½ ±º Ì Ñ Ò Ø Ø ÓÖØ ØÓÛ Ö Ø ÒØ Ö Û ÐÐ Ð ØÓ Ð Ö Ø ÕÙ ÐÝ Û Ø ½º Ø ØÙ ØÓÖ ÓÖ µ ÙØ Û ÐÐ Ú ÓÒÐÝ ½» Ø ÓÖ Ú Ð Ð ØÓ Ð Ö¹ Ø º ÆÓØ Ø Ø Ø ÐÓÒ Ö Ø ÔÖ Ò ÓÖ ÐÔ
Ö Ø Ñ º ÓÖ Ü ÑÔÐ Ø ÖÓÑ ÓÒ Ò Ó Ø Ú ØÓ Ø ÓØ Ö Ø Ð Û ÐÐ «Ø Ú ÐÝ Ð Ö Ø Ò Ð Ö Ø Û Ø ½ ± Ó Ø ØÙ ØÓÖ ÓÖ º ÁÒ Ø Ø Ñ Ö Û Ø ÒÖ Ò ÔÖ Ò Ø «Ò º Ë ØØÐ Ø Ñ º Á Ø Ð ÑÔÐÓÝ Ò Ø Ú ÑÔ Ò Ý ¹ Ø Ñ ØÓ ÑÔ Ð Ú Ö Ø ÓÒ ØÖÓÒ Ö ØÙ ØÓÖ ÓÖ Û ÐÐ ÑÔ Ò Ø ÔÖ Ò ¹ Ð Ý Ø Ñ ÑÓÖ ÕÙ ÐÝ Ö ØÐÝ ¹ Ö Ò ØØÐ Ò Ø Ñ º ÀÓÛ Ú Ö Ö Ò Ø Ø Þ Ö ¹ ÕÙ Ö ÐÓÒ Ö ÑÔ Ò Ø Ñ Ò ØÙÖÒ ÒÖ Ò ØØÐ Ø Ñ º ÌÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ º ÌÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ Ö Û Ø Ò¹ Ö Ò «Ø Ú ØÙ ØÓÖ ÓÖ º Ì ÜØÖ ÓÖ ÒÖ Ø Ö Ø Ó Ð Ö Ø ÓÒ Ò Ð Ö Ø ÓÒ º º ÐÐÓÛ Ò Ø Ð ØÓ ØÓÔ Ò Ø Ò Ø ÖØ ÑÓÚ Ò Ò Ø ÓÔÔÓ Ø Ö ¹ Ø ÓÒ ÑÓÖ ÕÙ Ðݵº ÁÒ ÓÒØÖ Ø ÒÖ Ò Ø Ð ³ Ú ÐÓ¹ ØÝ Ö ØÐÝ ÒÖ Ø ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ º ÁÒÖ Ò Ø Ø «Ò Ó Ø ÔÖ Ò ÑÔÖÓÚ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ Û Ò Ú Ö Ø Ð Ò Ø ÐÐÝ ÑÓÚ Ò Ò ÓÔÔÓ Ø ÓÒ ØÓ Ø ÔÖ Ò ÓÖ º Ì Ø Û Ò Ø Ð ÑÓÚ Ò ØÓÛ Ö Ø ¹ Ú Ò Ø Ò ØÙÖÒ ÖÓÙÒ º À Ö Ø ÔÖ Ò ÓÖ ÔÙÐÐ Ø Ð ØÓÛ Ö Ø ÒØ Ö Ò Ø Ò ÓØ ØÓÔÔ Ò Ò Ö Ø ÖØ Ò Ø Ð º Ú Ò Ø Ð ÒÓØ Ø Ø ÙØ ÐÓ Ö ØÓ Ø ÒØ Ö ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ Ö ÐÓÒ Ø Ð Ò Ø ÐÐÝ ÑÓÚ Ò Ò Ø Ø ÔÖ Ò ÓÖ º º ÑÓÚ Ò Û Ý ÖÓÑØ ÒØ Ö Ó Ø Ú µº ÀÓÛ Ú Ö Û Ò Ø Ð Ò Ø ÐÐÝ ÑÓÚ Ò Û Ø Ø ÔÖ Ò ÓÖ º º ÑÓÚ¹ Ò ØÓÛ Ö Ø ÒØ Ö Ó Ø Ú µ Ø Ð ÑÙ Ø ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ò Ø Ø ÔÖ Ò ÓÖ º ÓÖ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ò Ö Ø Ú ÒØ Ö Ø ÔÖ Ò ÓÖ ÐÓ ØÓ Þ ÖÓ Ò Ð ØØÐ ÑÔ Øº ÀÓÛ Ú Ö ØÙÖÒ Ò ÖÓÙÒ Ò Ö Ø Ú ³ Ò ÒÖ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ Ý ÑÙ º È Ò Û Ø º È ØÖ Ñ Ò µ Ò Û Ø Ú Ý Ú Ò Ø Ð Û Ô Ø ÙÐÐ Ø Ò Ò Ø Ö ¹ Ø ÓÒ Û Ð Ø ØÙÖÒ Ò ÖÓÙÒ Û Ð Ò ÓÒ Ø Ò Ø Ö Ø ÓÒ Ò Ø Ò Ö Ô Ø Ò Ø ÔÖÓ¹ Ò Ø Ö Ø ÓÒº ÅÓ Ø Ô Ý Ð ØÖ Ò ÑÔÖÓÚ Ô Ò Û Ø ÒÐÙ Ò ½µ Ö Ò Ø Þ Û ÒÖ Ø ÒÙÑ Ö Ó Ø Ô Ö ÓÒ Ô Ò ÙÒ Ö Ø Ô ¾µ ÒÖ Ò Ð Ð Ö Ø ÓÒ ÓÖ ÔÖ Ò ÓÖ Û Ý Ö Ò ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ µ Ö Ù Ø Ø Ñ Û Ò Ø ÔÖÓ Ø Ô ÒÒÓØ Ø µ ÒÖ Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó Ò Ô Ò ÒØ Ð Û Ö Ð ³ Ñ µ ÒÖ Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó ÓÒÙÖÖ ÒØÐÝ Ø Ú Ø Ô º Ú Ò Ò¹ Ö Ò Ð Ú ÐÓ ØÝ Û ÐÐ Ò Ø ÐÐÝ ÒÖ ØÖ Ñ Ò Ò ¹ Û Ø Ý Ö Ò Ø Ø Ñ Ø Ø ØÓ Ö Ò ÒØ Ö ØÖ º ÀÓÛ Ú Ö ÒÖ Ò Ú ÐÓ ØÝ Ð Ó ÒÖ ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ º Ø Ø Ñ Ô ÒØ Ö Ò Ò ÒØ Ö ØÖ Ö Ò Ø ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ ÒÖ Ø Ú Ú ÒØÙ ÐÐÝ Ô Ò ÑÓÖ Ø Ñ ØÙÖÒ Ò ÖÓÙÒ Ø Ò Ö Ò º Ø Ø ÔÓ ÒØ Ô Ò Û Ø Ö º ÓÖ Ú Ò ØÙ ØÓÖ ÓÖ Ð Ñ Ò ÔÖ Ò ÓÖ Ø Ö Ñ Ü ÑÙÑ Ú ÐÓ ØÝ Ø Ö Û Ô Ò Û Ø Ð Ò º Ô Øݺ Å Å˹ ØÓÖ Ô ØÝ Ö ØÐÝ Ò¹ Ö Ý Ø Ö Ö Ò Ø Ø Þ º º ÒÖ Ò Ö Ð Ò Øݵ ÓÖ Ý ÒÖ Ò Ø ØÙ ØÓÖ ÓÖ º Ì Ð Ø¹ Ø Ö Ò ÑÔÖÓÚ Ò ØÝ Ý Ö Ò Ø Ø Ò Ö ÕÙ Ö ÙÖ Ò ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ø Ú µº Ï Ø Ö Ø Ö ÓÖ Ø Ø Ò Ö Ö Ø Ò ÑÓÖ Ù ÙÐ Ö Û Ö Ø Ò ØÓÖ Ò º ÁÒ ÓÒØÖ Ø ÒÖ Ò Ø Ð Ú ÐÓ ØÝ ÒÖ Ø ØÙÖÒ ÖÓÙÒ Ø Ñ Ò Ø Ò µ Û Ö Ø «Ø Ú Ñ Ö º ÁÒÖ Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó Ð Ð Ó Ö Ô ØÝ Ù ÑÓÖ Ó Ø Ö ½ ¾ Ø Û Ø Òѵ ¼ ¼ ¼ Ð Ð Ö Ø ÓÒ µ ¼ ¾ ½¼ Ô Ø» µ ¼¼ ¼¼ ½¼¼¼ ØØÐ Ò Ø Ñ Ñ µ ¼º ½ ¼º¾½ ¼º½ ØÓØ Ð Ø Ô ¼¼ ¼¼ ¼¼ Ø Ú Ø Ô ¼ ½¾ ¼ ¾¼¼ Ñ Ü Ø ÖÓÙ ÔÙØ Å» µ ¾ º º ¾¼ ÒÙÑ Ö Ó Ð ½ ½ ½ Ô Ö¹ Ð Ô ØÝ µ ¾º º¼¼ º½½ Ö Ø ÓÒ Ð ÒÓ Ý Ý Ì Ð ¾ Å Å˹ ØÓÖ Ô Ö Ñ Ø Ö Ù Ò ÓÙÖ Ü¹ Ô Ö Ñ ÒØ º ÑÙ Ø Ù ÓÖ ØÙ ØÓÖ º Ä Ö Ú Ô ØÝ Ð Ó Ö Û Ø ÒÖ Ò ÖÖÓÖ Ö Ø Ù ½µ ÑÓÖ ÔÓÛ¹ Ö ÙÐ ÖÖÓÖ¹ÓÖÖ Ø Ò Ó ÑÙ Ø Ù Ö Ò Ø Ö ¹ Ø Ó Ó Ø Ø ØÓ Ø ¾µ ÒØ Ö ØÓÖ Ö ÒÓØ Ù Ò µ ÔÖÓ Ø Ô ÐÙÖ Ö Ò Ö Ö ÓÒ Ó Ø Ñ Ò Ð º ÈÓÛ Öº ÈÓÛ Ö Ö ÕÙ Ö Ñ ÒØ ÒÖ Û Ø Ú Ö Ð Ô Ý ¹ Ð ØÖ Ò ÒÐÙ Ò ½µ Ö Ò Ø Þ Û Ö ÕÙ Ö ÑÓÖ Ò Ð ÔÖÓ Ò ÔÓÛ Ö ØÓ Ö ÓÐÚ Ø ¾µ Ò¹ Ö Ò Ð Ú ÐÓ ØÝ Û Ö ÕÙ Ö ÑÓÖ ÓÖ ØÓ Ú Ö Ô Ò µ ÒÖ Ò ÖÖÓÖ Ö Ø Û Ö ÕÙ Ö ÑÓÖ ÖÖÓÖ¹ÓÖÖ Ø ÓÒ Ø ØÓ Ö ÓÖ ÛÖ ØØ Ò ÙÖ Ò º Ê Ð Ð Øݺ Ê Ð Ð ØÝ ÑÔÖÓÚ Û Ø Ñ ÒÝÔ Ý Ð ØÖ Ò ÒÐÙ Ò ÒÖ Ò ØÙ ØÓÖ ÓÖ Ö Ò Ð Ñ Ò ÒÖ Ò ÔÖ Ò ÓÖ º Ì ÐÐ Ö ØÐÝ ÒÖ Ø Ó ØÓÐ Ö Ò Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú ÐÐÓÛ Ò Ø Ñ ØÓ Ù Ø Ò Ö Ø Ö ÖÓÔ Ò ÓÙÒ Ò ÔÓÖØ Ð ¹ Ú º ÁÒÖ Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó Ð Ò Ð Ó ÒÖ Ö Ð ¹ Ð ØÝ Ý ÐÐÓÛ Ò Ú ØÓ ØÓÐ Ö Ø ÒØ Ö Ð ÐÙÖ º ÁÒ Ø ÑÔÐ Û Ö Ð Ò Ô Ò ÒØÐÝ ÓÐ Ò ÓÖ¹ Ñ Ø ÓÒ º º ÒÓ Ö ÙÒ Òݵ Ò Ð Ð ÐÙÖ ÛÓÙÐ ÐÓ Ø Ø Ð ³ Ø º ÀÓÛ Ú Ö ÑÙÐØ ¹ Ð Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÙÐ ÐÝ ÑÔÐ Ñ ÒØ Ê Á ÓÒ ÙÖ Ø ÓÒ ÐÐÓÛ¹ Ò Ø ÒØ Ö Ú ØÓ ØÓÐ Ö Ø Ð ÐÙÖ Û Ø ÓÙØ ÒÝ ÐÓ Ó Ø º Ú Ò Ò Ð Ð Ò ÑÔÐÓÝ Ê Á ÑÓÒ «Ö ÒØ ÔÖÓ Ø Ô ØÓÖ ÐÓ Ø ÓÒ º Ô Ò Ò ÓÒ Ø ÓÒ¹ ÙÖ Ø ÓÒ º º Ñ ÖÖÓÖ Ò Ê Á Ð Ú Ð µ Ú ÓÙÐ Ð Ó ØÓÐ Ö Ø ÓÒ ÓÖ ÑÙÐØ ÔÐ Ø Ô ÓÖ ØÓÖ ÐÙÖ º 3. PERFORMANCE MODELS Ì Ø ÓÒ Ö Ø Å Å˹ ØÓÖ ÑÓ Ð Ò Ø ÑÙÐ Ø ÓÒ Ø Ò ÕÙ Ù Ò Ø ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ö ÐÓÛº Ø Ð Ö ÔØ ÓÒ Ó Ø Ô Ö ÓÖÑ Ò ÑÓ Ð Ò Ò ÜÔÐÓÖ Ø ÓÒ Ó Ø Ò Ø Ú ØÝ ØÓÚ Ö ÓÙ Ò Ô Ö Ñ Ø Ö ÔÖ ÒØ Ò Ê Ö Ò ½ º 3.1 Three Generations of Devices Ú Ò Ø Û Ö Ò Ó Ô Ö Ñ Ø Ö ÜÔÐÓÖ Ò Ø ÒØ Ö Å Å˹ ØÓÖ Ò Ô ÒÓØ Ð º ÁÒ Ø Ø Ö ÑÓ Ð Ó Å Å˹ ØÓÖ Ö Ù ÓÒ ÒØ Ô Ø Ø ÒÓÐÓ Ý Ú Ò ÓÚ Ö Ø Ö Ø Ø Ö Ò Ö ¹ Ø ÓÒ Ì Ð ¾µº
ØÐ ½¼Ã ËÙÔ Ö ÊÈÅ ½¼ ¼¾ ¾¼ ¼¼¼ Å Ü Ò Û Ø Å» µ ¾ ½ ¼ Ú º Ñ µ Ö»ÛÖµ º» º½ º½¾» º Å Ü ÙÐÐ ØÖÓ Ñ µ ½¼º»½½º ¾ º ¼» º Ì Ð È Ö ÓÖÑ Ò Ö Ø Ö Ø Ó Ø ÉÙ ÒØÙÑ Ø¹ Ð ½¼Ã Ö Ú Ò Ø ÜØÖ ÔÓÐ Ø ËÙÔ Ö ÑÓ Ðº Ì ½ Ø Ò Ö Ø ÓÒ ½µ ÑÓ Ð Ö ÔÖ ÒØ ÓÒ Ö¹ Ú Ø Ú Ò Ø Ð Å Å˹ ØÓÖ Ú Û ÓÙÐ Ö Ø Û Ø Ò Ø Ò ÜØ Ø Ö Ý Ö º Ì Ð ÙÐÐ Ö Ò Ó ÑÓØ ÓÒ Ó ½¼¼ Ñ ÐÓÒ Ø Ò Ü Ò Ø ØÙ ØÓÖ Ð Ö Ø Ø Ð Ø ¼ º ÌÓ Ø Ø Ú Ù Ö Ð Ø Ú ÐÝ ÔÖ Ñ Ø Ú Ö ÓÖ Ò Ñ Ð Ò ØÓ Ô Ö¹Ø Ô Ø Ö Ø Ó ¼¼ Ø» º Ì Ò ÓÒÐÝ ÙÔ¹ ÔÓÖØ ÙÒ Ö Ø ÓÒ Ð Û Ö Ö Ò ÛÖ Ø ÓÒÐÝ ÓÙÖ Û Ò Ø Ð ÑÓÚ Ò Ø ÔÓ Ø Ú Ö Ø ÓÒº ½³ Ñ Ø Ô Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ý Ø Ñ ÔÖÓ¹ Ú ÕÙ Ö Ø ÐÐ Ó ¼ ÒÑ Ù Ø Ø Ø Ô Ö ¾¼¼¼ ¾¼¼¼ ÖÖ Ý Ó Ø º Ì Ð ÓÓØÔÖ ÒØ ¼º Ñ ¾ ÐÐÓÛ Ò ¼¼ Ø Ô ÓÖ Ð º Ì Ý Ð Ö Û Ô ØÝ Ó ¾º Ô Ö Ð º ÀÓÛ Ú Ö Ñ ÖÖÓÖ Ñ Ò Ñ ÒØ Ö ¹ ÕÙ Ö ½¼¹ Ø¹Ô Ö¹ ÝØ ÒÓ Ò º Ð Ó Ð ØÖ Ò Ò ÝÒ ÖÓÒ Þ Ø ÓÒ Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ Ö ÕÙ Ö ½¼ ØÖ Ò Ø ÓÖ Ú¹ ÖÝ ¼ Ø Ø º ÙÖ Ò Ñ Ø Ð Ö ØÖ Ø ØÓ Ø Ü Ú ÐÓ Øݺ ÀÓÛ Ú Ö Ø Ð Ô ÒÓØ Ð Ñ Ø ÙÖ Ò º Ì ¾Ò Ò Ö Ø ÓÒ ¾µ ÑÓ Ðº Ë Ú Ö Ð ÙÒ Ñ Ò¹ Ø Ð ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ò Ò ¾ ÓÚ Ö ½º Ö Ø Ñ ÓÙÖ Ò ÓØ Ø Ò Ö Ø ÓÒ º Ë ÓÒ Ô Ö¹Ø Ô Ø Ö Ø ÒÖ ØÓ ¼¼ à ػ ÓÒ ØÖ Ò Ò ÔÖÓ Ø Ô Ø ÒÓÐÓ Ýº Ö Ò Ø Ð Ñ Ò Ò ÒÖ Ò Ø ØÙ ØÓÖ ÚÓÐØ Ð ØÓ Ò ÒÖ Ò Ð Ð¹ Ö Ø ÓÒ ØÓ ¾ º Ð Ó ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ò Ø ÖÚÓ Ý Ø Ñ Ö ¹ Ù Ø ØØÐ Ò Ø Ñ ÓÖ º Ö Ò Ô Ö¹Ø Ô ÔÓÛ Ö ÙØ Ð Þ Ø ÓÒ Ò Ð ØÓ Ð Ö Ö ÒÙÑ Ö Ó Ø Ô Ø Ø Ò Ø Ú ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ Ú ØÐÝ ÑÔÖÓÚ Ò Ø Ñ Ü ¹ ÑÙÑ Ø ÖÓÙ ÔÙغ Ò ÐÐÝ Ñ Ñ Ø Ö Ð ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ ÒÖ ¾³ Ø Ò ØÝ Ý ¾¼±º Ì Ö Ò Ö Ø ÓÒ µ ÑÓ Ðº ÔÔÖÓ Ø ¹ Ò Ó Ñ ÒÝ Å Å˹ ØÓÖ Ô Ö Ñ Ø Ö Ò Ö Ø Ö Ø º À Ö Ø Ø Ò ØÝ Ð ÓÛÒ ØÓ ¼ ÒÑ Ô Ö Ø Ò Ö Ò Ø Ð Ñ Ð ØÓ Ö Ð Ð Ö Ø ÓÒº ÁÒ Ø Ò Ò Ø Ù Ô Ò ÓÒ Ò Ð Ò Ð ØÓ Ö Ö ÓÒ ÒØ Ö ÕÙ ÒÝ Ö ÙÐØ Ò Ò ÓÖØ Ö ØØÐ Ò Ø Ñ º Ì ÖÓÙ ÔÙØ ÒÖ Ð Ö ÐÝ Ù Ó Ø Ø ÓÒ Ó ÑÓÖ Ø Ú Ø Ô º Ì Ö Ö Ò º Ú Ð Ø Ë Ñ ÑÓ ÙÐ ÓÖ Ø ÉÙ ÒØÙÑ ØÐ ½¼Ã ¼ Ò Ð ÓÑÔ Ö ÓÒ Ó ÑÓ ÖÒ ³ Ô Ö ÓÖÑ Ò ØÓ Å Å˹ ØÓÖ Ú Ô Ö ÓÖÑ Ò º Ì ËÙÔ Ö ÑÓ Ð Û Ö Ø ØÓ ÓÑÔ Ö Å Å˹ ØÓÖ ØÓ Ò Ö Ú Ö Ú ÔÖÓ Ø ÓÒ ØÓ Ø Ý Ö ¾¼¼ º ÜØÖ ÔÓÐ Ø Ò ÓÒ Ø ÙÖÖ ÒØ Ô Ö ÓÖÑ Ò ØÖ Ò Ò Ö Ú Ø ÒÓÐÓ Ý Ø ËÙÔ Ö Ú ØÖ Ñ Ò Ò Û Ø Ó ÙÔ ØÓ ½¾ Å» º ÁØ Ø Ñ ÖÓÔ ØÓ Ñ Ú Ö Ò Ø ÖÓØ Ø Ø ¾¼ ¼¼¼ ÊÈź Ì ØÐ ½¼Ã Ò ËÙÔ Ö Ô Ö Ñ Ø Ö Ö ÓÑÔ Ö Ò Ì Ð º Average Access Time (ms) 12 10 8 6 4 2 0 Service Time Seek Time Atlas10k SuperDisk G1 G2 G3 Storage Device Type ÙÖ Ú Ö Ø Ñ Ó ÑÓ Ð ÙÒ Ö Ø Ñ ¹ ÖÓ Ò Ñ Ö º Å Å˹ ØÓÖ Ú ÔÖÓÚ ÓØ ØØ Ö Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò Ñ ÐÐ Ö Ú Ö Ò º Ö ÓÒ ÓÐÙÑÒ Ö ÔÖ ¹ ÒØ ÓÒ Ø Ò Ö Ú Ø ÓÒº Ì ÛÓÖ ÐÓ Û ½¼ ¼¼¼ Ö Ò ÓÑÐݹ ØÖ ÙØ Ö ÕÙ Ø ØÛÓ Ø Ö Ö Û Ø Ò ÖÖ Ú Ð Ö Ø Û ¾¼ Ö ÕÙ Ø Ô Ö ÓÒ º 3.2 Simulation Environments Í Ò Ø ÑÓ Ð Ö Ò Ê Ö Ò ½ Ò Ø ¹ Ú Ô Ö Ñ Ø Ö Ò Ì Ð ¾ Û Ö Ø ÑÙÐ Ø ÓÒ ÑÓ Ð ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ Ú Ò ÒØ Ö Ø Ø Ó ÑÓ Ð ÒØÓ Ë Ñ Ö Ðݹ Ú Ð Ð ÑÙÐ ØÓÖ Ø Ø ÙÖ Ø ÐÝ ÑÓ Ð Ö Ú ½½ ÒÐÙ Ò Ø ØÐ ½¼Ãº Ë Ñ Û Ù ÓÖ Ø Ñ ÖÓ Ò Ñ Ö Ò ØÖ ¹ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ö ÐÓÛº ÓÖ Ø ÔÔÐ Ø ÓÒ ÜÔ Ö¹ Ñ ÒØ Ë Ñ Û ÒØ Ö Ø Û Ø Ø Ë ÑÇË Ñ Ò ÑÙÐ ØÓÖ ¾ º Ë ÑÇË Û ÓÒ ÙÖ ØÓ ÑÓ Ð ½ ÀÞ ÐÔ ¾½½ ¹ Ý Ø Ñ Û Ø ½¾ Å Ó Ê Å ÖÙÒÒ Ò Ø Ð ÍÆÁ Ú Ö ÓÒ º Ì ÇË ÖÙÒ ØÓÔ Ø Ú ÖØÙ Ð Ñ ¹ Ò Ù Ò Ô Ð Ú Ö Ú Ö ØÓ ÒØ Ö Ø Û Ø ÑÙ¹ Ð Ø Á»Ç Ú º Ò ÐÐÝ ÑÓ ÐÓ Á ų ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú ½ Û Ù ØÓ ÓÑÔ Ö Ò Ø ÓÙÖ Å Å˹ ØÓÖ ÔÓÛ Ö ÑÓ Ð º Ì ÔÓÛ Ö ÑÓ Ð Û Ö Ö Ú Ò Ù ¹ Ò Ø Ñ Ò ¹ ÙÖ Ø ØÖ Ó Ë ËÁ ÐÓ Ö ÕÙ Ø Ø Ö ÖÓÑ Ä ÒÙܳ Ë ËÁ Ú Ö Ú Öº 4. PERFORMANCE RESULTS ÌÓ Ù ÙÐÐÝ ÐÐ Ø Ñ ÑÓÖÝ» ØÓÖ Ô Å Å˹ ØÓÖ Ø ÒÓÐÓ Ý ÑÙ Ø Ó«Ö Ò ÒØ ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ò Á»Ç Ò ÓÚ Ö ÐÐ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ Ò º ÓÖ ÑÓ Ð Ô¹ ÔÐ Ø ÓÒ ÔÓÛ Ö Ô Ø ÓÒ Ö٠к Í Ò Ñ ÖÓ Ò ¹ Ñ Ö Ò Ü «Ö ÒØ ÛÓÖ ÐÓ Ø Ø ÓÒ ÓÑÔ Ö Ø Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò ÔÓÛ Ö ÙØ Ð Þ Ø ÓÒ Ó ÓÙÖ Å Å˹ ØÓÖ¹ Ú ÑÓ Ð ½ ¾ Ò µ Ò Ø ½ ÉÙ Ò¹ ØÙÑ ØÐ ½¼Ã Ö Ú Ò Ø ÝÔÓØ Ø Ð ËÙÔ Ö Ö ÓÚ º 4.1 Microbenchmark Results Ì Ö Ø ÛÓÖ ÐÓ Ñ ÖÓ Ò Ñ Ö Ó ½¼ ¼¼¼ Ö Ò ÓÑÐݹ ØÖ ÙØ Ö ÕÙ Ø º ÌÛÓ Ø Ö Ó Ø Ö ÕÙ Ø Û Ö Ö Ò Ø ÖÖ Ú Ð Ö Ø Û ¾¼ Ö ÕÙ Ø Ô Ö ÓÒ º ÙÖ ÓÛ Ø Ø ÐÐ Ø Ö Å ÅË ÑÓ Ð ÓÙØÔ Ö ÓÖÑ Ø ØÐ ½¼Ã Ò ËÙÔ Ö Ý ÔÔÖÓÜ Ñ Ø ÐÝ ½¼ Ò Ö Ô Ø Ú Ðݺ
ÙÖ Ð Ó ÓÛ Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ú ÑÙ Ð Ø Ñ Ú Ö Ø ÓÒ Ø Ò Ö Ú º ÁÒ Ö Ú Ø Ø Ò ÓÚ Ö Û Ø Ò Ñ ÑÙ Ø ØÖ Ú Ð ØÓ Ö Ò Ò Ú Ù Ð ÐÓ Ú ÖÝ Ò ÒØÐÝ Ù ¹ Ò Û Ú Ö Ø ÓÒ Ò Ø Ñ º ËØ Ò Ö Ú Ø ÓÒ Ó Ú Ö ÖÚ Ø Ñ ÓÖ Ø Ö Ò ÓÑ Ò Ñ Ö ÓÒ Ø ØÐ Ò ËÙÔ Ö Ö ¾º Ò ½º ¼ Ö Ô Ø Ú Ðݺ ÁÒ ÓÒ¹ ØÖ Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ú Ø Ò Ö Ú ¹ Ø ÓÒ ØÛ Ò ¼º¾ Ò ¼º¼ º Ì Ñ ÐÐ Ú Ö Ø ÓÒ Ù ØÓ ÔÖ Ò «Ø Ø Ò Ó ÖÓØ Ø ÓÒ Ð Ð Ø ÒÝ Ò Ø ÑÙ ÓÖØ Ö ÙÐÐ¹Ø ÖÓÛ Ø Ò Ó ½¼¼ Ñ ÖÓÒ Ú º Ú¹ Ö Ð ÒØ Ñ Ø Ö Ò Ö Ú µº Ì Ö ÓÖ Ø Ñ Ö Ø ØÐÝ ÓÒ ØÖ Ò º Ì ÐÓÛ Ö Ú Ö Ò Ò Ø Ù Ö Ø Ö ÔÓØ ÒØ Ð ÔÖ Ø Ð ØÝ ÒØÖ Ù Ò ÓÒ ÕÙ Ò ÓÖ Ø Ò Ó Ñ Ý Ø Ñ Û Ø Ö Ð¹Ø Ñ Ö ÕÙ Ö Ñ ÒØ º ÒÓØ Ö Ö Ø Ö Ø Û Ó ÒÓØ ÔÔ Ö Ò Ø Ö Ô Ø Ò Ø Ó Ô Ö ÐРРѺ Å Å˹ ØÓÖ ¹ Ú Ñ Ý ÒÐÙ ÑÙÐØ ÔÐ ÙÐÐݹ Ò Ô Ò ÒØ Ð ÓÚ Ö Û Ø Ö ØÖ Ô º ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÕÙ Ù ÒÓÑ Ò Ö ¹ ÕÙ Ø Û Ò Ø Ú ÐÖ Ý ÖÚ Ò ÔÖ Ú ÓÙ Ö ¹ ÕÙ Ø Ù ÑÓ Ø ÑÓ ÖÒ ÒÐÙ ÓÒÐÝ ÓÒ Ñ ¹ Ò Ñ ÓÖ Ò Ø Ñ º ÀÓÛ Ú Ö ÑÙÐØ ¹ Ð Å ÅË Ú Ò ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ ÖÚ ÑÙÐØ ÔÐ Ö ÕÙ Ø Ø Ö Ø ÐÐ ÓÒ Ô Ö Ø Ð ÑÙ Ð ÖÖ Ý º ÍÒ Ö Ø Ñ Ñ ÖÓ Ò Ñ Ö Û Ø Ò ÒÖ ÒØ Ö¹ ÖÖ Ú Ð Ö Ø ¹ Ð Ú Ø ÔÓØ ÒØ Ð ØÓ ÔÖÓÚ Ø Ñ Ø Ø ÖÓÙ ÔÙغ Ë Ñ Ð Ö Ò Ø Ò Ò Ý Ö Ø¹ Ò ÑÙÐØ ÔÐ Ò Ð ¹ Ð Ú ØÓ Ø Ö Ö Ø Ò Å Å˹ Ê Á Ý Ø Ñº Ú Ò Ø Ö Ò ÒØÐÝ ÐÓÛ Ö ÚÓÐÙÑ Ñ ÒÝ Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÙÐ Ø ÒØÓ Ø Ò¹ Ö Ö Ú ÒÐÓ ÙÖ ÒÖ Ò ÓØ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò ¹ Ô ØÝ Ô Ö ÚÓÐÙÑ Ö Ð Ø Ú ØÓ ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ¾ º 4.2 Application Results Ì Ø ÓÒ ÔÖ ÒØ Ø Ö ÙÐØ ÖÓÑ Ö Ð¹ÛÓÖÐ Ò Ñ Ö Ñ ÙÖ ÓÒ Ý Ø Ñ Û Ø ÑÙÐ Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ò ØÛÓ «Ö ÒØ ÓÒ ÙÖ Ø ÓÒ Ö Ø ÑÔÐ Ö ¹ ÔÐ Ñ ÒØ ÓÖ Ò ÓÒ ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð º ÓÑÔ Ö Ò Å Å˹ ØÓÖ Ú ØÓ º Ì Ö Ø ØÛÓ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ø Ò Ö Û Ò Ñ Ö ËÙ Ø ½ Ò ÈÓ ØÅ Ö ¾½ Û Ö Ò ÓÖ Ð Ý Ø Ñ Ò Á»Ç Ô Ö¹ ÓÖÑ Ò Ò ÐÝ º Ì Ò Ö Û Ò Ñ Ö ÓÒ Ø Ó Ø Ó Ð Ò Ö ØÓÖÝ ÓÔ Ö Ø ÓÒ ÓÐÐÓÛ Ý ÐÓÒ ÓÑÔ Ð º Ì ÈÓ ØÅ Ö Ò Ñ Ö Ô Ö ÓÖÑ Ñ ÒÝ Ñ ÐÐ Ð ÓÔ Ö ¹ Ø ÓÒ º º Ö Ø Ð Ø Ö ÛÖ Ø µ Ò Û Ò ØÓ Ö ÔÖ ÒØ Ø Ú Ó Ø Ð Ý Ø Ñ ÛÓÖ ÐÓ Ò Ò ¹Ñ Ð Ò Û Ò Ð ØÖÓÒ ÓÑÑ Ö ÒÚ ÖÓÒÑ ÒØ º Ì Ð ÓÛ Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ò Ò ÒØÐÝ Ö Ù Ø Á»Ç Ø Ñ ÓÖ Ø ÛÓÖ ÐÓ º ÓØ Ò Ö Û Ò ÈÓ Ø¹ Ñ Ö ÓÛ Ò ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ò Á»Ç ÖÚ Ø Ñ ØÛ Ò Ò Û Ø Ò ÓÚ Ö ÐÐ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ Ò ÑÔÖÓÚ ¹ Ñ ÒØ ØÛ Ò ¾ Ò º Ì ÆÍ Ä Ò Ö Ò Ñ Ö ÒÙÐ Ø Ø Ò Û Ð Ö Ø Ó Ó Ø Ð Ö Ð Ò Ù Ò Ø ÆÍ Ð Ò Öº ÐÐ Ó Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ÑÔÖÓÚ Ô Ö ÓÖÑ Ò ¾ Ñ ÙÖ Ò Ø»Ñ Å Å˹ ØÓÖ Ú Ú ÑÙ Ö Ò ØÝ Ø Ò Ö Ú º Ì Ù Ö Ú ÑÙ Ø Ø Ò ÒØ ÚÓÐÙÑ ØÖ Ö ØÓ Ø Ô Ò Ð ÔÐ ØØ Ö Ô Ö Ø ÓÒ Ò Ø ØÙ ØÓÖº ÀÓÛ Ú Ö Ô Ò Ñ ÒÝ Å Å˹ ØÓÖ Ú ÒØÓ Ñ ÐÐ Ö Û ÐÐ Ò ÒØÐÝ ÒÖ Ø Ô Ø ÓÒ Ö ÕÙ Ö Ñ ÒØ ÓÖ Ø Å ÅË Ú º ÓÚ Ö Ø ØÐ ½¼ Û Ø Ø Ú Ö Ò Á»Ç Ø Ñ Ý º ÀÓÛ Ú Ö ËÙÔ Ö ³ Ö Ò Û Ø Ö ØÐÝ Ò¹ Ò Ø Ô Ö ÓÖÑ Ò ÓÚ Ö Ø ½ Ú º Ì ÌÈ ¹ Ò Ñ Ö Ð Ó Ð Ö Ö ÙØ ÓÒ Ò Á»Ç Ø Ñ ÖÓÑ Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú º Ì Ö Ò Û Ø Ó Ø ËÙÔ Ö ÓÛ Ú Ö Ö ØÐÝ Ò Ò Ø Ô Ö ÓÖÑ Ò ÓÖ Ø ÌÈ ¹ ÕÙ Ö º ÁÒ ÓØ Ø ËÙ¹ Ô Ö ÓÙØ¹Ô Ö ÓÖÑ Ø ½ Å ÅË Ú º Ì Ô Ö ÓÖ¹ Ñ Ò Ó Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ð Ó ÑÔ Ö Ý Ú ÖÝ Ø Ö Ø ÓÖ Ø ÌÈ ¹ ÕÙ Ö Û Ö ØÛ Ò ± Ò ¼± Ö Ô Ø Ú ÐÝ ÓÖ Ø º ÇÙÖ Å Å˹ ØÓÖ Ú Ó ÒÓØ ÒÐÙ ÔÖ Ø ¹ Ò Ò Ó ÒÒÓØ Ò Ø ÖÓÑ Ø ÕÙ ÒØ Ð ØÝ Ò Ø Ö Ù Ó Ø Ò Ñ Ö º ÀÓÛ Ú Ö Ú Ò Û Ø ÓÙØ Ê Å Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÙØÔ Ö ÓÖÑ Ø Ð Ò Ý Û Ñ Ö Òº Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÖ º Å Å˹ ØÓÖ Ò Ð Ó Ù Ò Ù Ñ ÒØ Ø ÓÒ Ó Ø Ü Ø Ò ØÓÖ Ö Ö Ýº ÓÖ Ü ÑÔÐ Û Ø Ø Ö ÐÓÛ ÒØÖÝ Ó Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÙÐ ÒÓÖ¹ ÔÓÖ Ø ÒØÓ ÙØÙÖ Ö Ú Ú ÖÝ Ð Ö ½¹½¼ µ ÒÓÒ¹ ÚÓÐ Ø Ð º Ì ÙÔ Ö ÓÖ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú ÛÓÙÐ ÐÐÓÛ Ø ØÓ ÓÖ Ð Ø Òݹ Ö Ø Ð ÝÒ ÖÓÒÓÙ ÛÖ Ø ØÓ Ñ Ø Ø Ò Ñ ÐÐ Ð ØÓ ÑÔÖÓÚ Ñ ÐÐ Ö Ô Ö ÓÖÑ Ò º ÓÖ Ü ÑÔÐ Ö Ø Ðº ÓÛ Ø Ø Ù Ò Ø ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ØÓÖ ØÓ ÓÖ ÝÒ¹ ÖÓÒÓÙ ÛÖ Ø ÓØ Ø Ð ÒØ Ò Ø Ð ÖÚ Ö ÒÖ Ô Ö ÓÖÑ Ò ÖÓÑ ¾¼± ØÓ ¼± ¾ º ÌÓ ÜÔÐÓÖ Å Å˹ ØÓÖ ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ÓÖ Ë Ñ Û Ù Ñ ÒØ ØÓ ÐÐÓÛ Å Å˹ ØÓÖ¹ Ú ØÓ ÖÚ ÓÖ º Ì Û ¾º Ø Û º¾ Ò Ø ÛÓÖ ÐÓ Û Ø ½¹ Ý ÐÐÓ ØÖ ÖÓÑ º Ì ØÖ ØÙ ÐÐÝ ÒÐÙ Ø Ô¹ Ö Ø Ú Ó Ø ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ù Ô Ö º Ì Ö ÙÐØ ÓÛ Ø Ø Ø Ú Ö Á»Ç Ö ÔÓÒ Ø Ñ ½ º Ñ ÓÖ Ò ØÐ ½¼Ã Ö Ú Û Ø ÓÙØ ÒÝ Å ÅË Ú º º¼ Ñ ÓÖ Û Ø ¾ ØÝÔ Å Å˹ Ò ¾º Ñ ÓÖ Ò Ð Ð Ö ¾ Å ÅË Ú Ø Ø Ö ÔÐ Ø µº Ë Ò ÑÓ Ø Ó Ø Ö Ö ÕÙ Ø Ö ÖÚ ÖÓÑ Ø Ð Òع Ê Å Ø º Ô Ö ÓÖÑ Ò ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ ÓÚ Ö Ù Ø Ö Ú Ú Ñ ÒÐÝ Ý ÕÙ ÐÝ ÖÚ Ò ÛÖ Ø º ÀÓÛ Ú Ö ÙÒÐ Ê Å¹ ÛÖ Ø Ò Û ÓÖ ÛÖ Ø ÙØ Ö ÐÓ Ò Ø µ Ø Å ÅË ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ÔÖÓÚ Ò Ø Ñ Ø ÒØ Ö ØÝ Ù Ö ÒØ Ö Ú º Ò ÐØ ÖÒ Ø ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ò Û ÐÐ Ø ¹ Ú Ò Ø ÐÐÓ ØÖ Û Ö Ö ¹Ñ ÔÔ ØÓ Ð Ö Ö Ú Ö ÓÒ Ó Ø ØÐ ½¼Ã Û Ø Ò Ð Å ÅË ÓÒÐÝ Ù ¹ Ö Ð Ø ÒÖ Ò Ú Ö Ø Ñ ØÓ º Ñ º Ì ÐÓÒ Ö ÖÚ Ø Ñ Ø Ñ ÖÓÑ Ò ÒÖ Ò ÕÙ Ù Ò Ò Ø Ð Ö Ò Ð Ú Ó Ò Ø ÛÓÖ Ó Øº ÁØ ÓÛ ÓÛ Ú Ö Ø Ø Ò ÓÖ ÒÓÙ Ó Ø Ú ³ Ø Ú ØÝ ØÓÔÖÓÚ ÓÓ Ô Ö ÓÖÑ Ò ÓÓ Øº ÁÒ Ø Ó Ù Ò Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ø Ð Ó ÔÓ Ð ØÓ ÜÔÓ Ø Ú ØÓ Ø ÇË Ó Ø Ø Ð Ý Ø Ñ Ò ÐÐÓ Ø Ô Ø ÓÒØÓ Øº Ô Ò Ò ÓÒ Ø Ö Ô ØØ ÖÒ Ò Ô Ö ÓÖÑ Ò Ò Ð Ý Ø Ñ ÓÙÐ ÔÐ Ñ ÐÐ ØÖÙØÙÖ º º Ð Ý Ø Ñ Ñ Ø Ø µ ÓÒ Å Å˹ ØÓÖ Û Ð Ù Ò Ø ÓÖ ØÖ Ñ ÓÖ Ò Ö ÕÙ ÒØÐݹ Ø º Ì ÓÙÐ ÓÒ ÓÒ Ò Ú ¹ Ù Ð ÓÖ Û Ø Ò Ê Á ÖÖ Ý Ö Ø Ò Ø ÔÓØ ÒØ Ð ÓÖ ÙØÓÊ Á ¹Ð Ý Ø Ñ º ÙÖØ Ö Ù Ê Á Ö¹
Ò Ö Û ÈÓ ØÑ Ö ÒÙÐ ÌÈ ¹ ÌÈ ¹ Ú ÓÑÔÙØ Á»Ç ÓÑÔÙØ Á»Ç ÓÑÔÙØ Á»Ç ÓÑÔÙØ Á»Ç ÓÑÔÙØ Á»Ç ØÐ ½¼ ¾º º º ¼º ¼º ¾ º½ ¾º ¾ º º ¾¾º ËÙÔ Ö ¾º ½º ½¼º¼ º¼ ¼º º ¾º º º ¼º ½ Å ÅË ¾º ½º ½¼º ¾ º ¼º ½½º ¾º ½ º º º ¾ Å ÅË ¾º ½º¼ ½¼º ½ ½º¼ ¼º º ¾º º¾ º ¼º¾ Å ÅË ¾º ¼º ½½º¼ ½ ¼º ¼º º ¾º º¾ º ¼º Ì Ð ÓÑÔ Ö ÓÒ Ó Ú ÔÔÐ Ø ÓÒ ÓÒ Ò Å Å˹ ØÓÖ Ú º ÐÐ ÒÙÑ Ö Ö Ò ÓÒ º Ö Ý Ö Ð Ó Ø¹ Ò Ø Ú Ø Ò Ò Ú Ù Ð ÖÖ Ý Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÙÐ ÒÓÖÔÓÖ Ø ÑÓÖ Ó Ø¹ «Ø Ú ÐÝ ÒØÓ Ê Á ÖÖ Ý ÔÖÓÚ Ò Ò ÒØ Ô Ö¹ ÓÖÑ Ò ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ ÓÖ Ê Á ³ Ó ØÐÝ ÛÖ Ø ÓÔ Ö Ø ÓÒ º 4.3 Power Utilization Ì Ô Ý Ð Ö Ø Ö Ø Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú Ñ Ý Ñ Ø Ñ Ð ÔÓÛ Ö ÙÒ ÖÝ Ø Ò Ú Ò ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú ½ ½ º Ì ÔÓÛ Ö Ú ÒØ ÓÑ ÖÓÑ Ú Ö Ð ÓÙÖ ÐÓÛ Ö ÓÚ Ö ÐÐ ÔÓÛ Ö Ö ÕÙ Ö Ñ ÒØ ÓÖ ÑÓÚ Ò Ø Ñ Ò ÓÔ Ö Ø Ò Ø Ö»ÛÖ Ø Ø Ô Ò Ø Ö ØÖ Ò ¹ Ø ÓÒ ØÛ Ò Ø Ú Ò Ø Ò Ý ÑÓ º Ï Ð Ø Ñ Ð Ò Å Å˹ ØÓÖ Ú Ó ÑÓÚ ÓÒØ ÒÙÓÙ ÐÝ Ò Ø Ò Ö Ø ÓÒ ÙÖ Ò Ø Ø Ð ÑÙ Ð Ñ Ø Ò ÔÐ ØØ Ö Ò Ø Ö ÓÖ Ø Ö Ð ÔÓÛ Ö ØÓ Ô Ò ÑÓØ ÓÒº ËÔ ÐÐÝ Ø Ø Ð Ø Ò ½¼¼ ÑÏ ØÓ ÓÒØ ÒÙÓÙ ÐÝ ÑÓÚ Å ÅË Ð Û Ð Ø Ø ÓÚ Ö ¼¼ ÑÏ ØÓ ÓÒØ ÒÙÓÙ ÐÝ Ô Ò Ö Ú º ÒÓØ Ö ÔÓÛ Ö Ú Ò ÓÑ ÖÓÑ Ø Ð ØÖÓÒ Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú º ÁÒ Ö Ú Ø Ð ØÖÓÒ Ô Ò ÑÙÐØ ÔÐ Ô Ò Ö Ø Ø Ò ÖÓÑ Ø Ñ Ò Ø Ø Ø Ò Ó Ø ÖÑ ØÓ Ø Ö Ú ÒØ Ö º Ì Ö ÓÖ ¹ Ô Ò Ð ÑÙ Ø ÖÓ Ú Ö Ð Ô ÓÙÒ Ö Ò¹ Ö Ò ÔÓÛ Ö Ô Ø ÓÒº ÙÖØ Ö ³ Ð Ö Ô Ý Ð ÔÐ ØØ Ö ÖÑ Ò ØÙ ØÓÖ Ö ÕÙ Ö ÓÔ Ø Ø ÔÓÛ Ö¹ ÙÒ ÖÝ Ò Ð ÔÖÓ Ò Ð ÓÖ Ø Ñ ØÓ ÓÑÔ Ò Ø ÓÖ ÑÔ Ö Ø Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò Ø ÖÑ Ð Ò ÒÚ ÖÓÒÑ Ò¹ Ø Ð Ò Ò Ò Ö Ð Û Öº ÙÖÖ ÒØ ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú ÓÒ ÙÑ ÐÑÓ Ø ½º Ï ½ ½ Ò Ö Ú Ð ØÖÓÒ ÑÙ Ó Ø Ô ÒØ ÓÒ ÙÖ Ø ÐÝ ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ø Ö ÓÖ Ò º Ç ÓÙÖ ÒÓØ ÐÐ Ö Ú Ð ØÖÓÒ ÑÙ Ø Ø Ú ÙÖ Ò ÓÖØ Ð Ô Ö Ó ÓÑ Ð ØÖÓÒ Ù Ø ÖÚÓ ÓÒØÖÓÐ Ò ÔÓÛ Ö ÓÛÒº Ì Ø Ò ÕÙ Ö Ù ØÓØ Ð Ö Ú ÔÓÛ Ö Ý ÙÔ ØÓ ¼± Ò Ñ ÐÐ Ø ÓÒ Ð Ø Ñ Ô Ò ÐØÝ ØÓ Ö ØÙÖÒ ØÓ Ø Ú ÑÓ ÖÓÑ ¼ß ¼¼ Ñ µº Ö Ú ÔÓÛ Ö Ò Ð Ó Ú Ý ØÙÖÒ Ò Ó«Ø Ô Ò Ð ÑÓ¹ ØÓÖ ÙÖ Ò ÐÓÒ Ð Ô Ö Ó º ÆÙÑ ÖÓÙ ØÙ Ú ÑÓÒ¹ ØÖ Ø Ø ÔÓÛ Ö Ú Ò Ó Ø Ø Ò Ý ÑÓ ½ ¾ ¾ Ò ÙÖÖ ÒØ ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú Ó ÒÓÖÔÓÖ Ø Ø ØÙÖ º Å Å˹ ØÓÖ Ò Ð Ó ÑÔÐÓÝ Ø Ò Ý ÑÓ ØÓÔ¹ Ô Ò Ð ÑÓÚ Ñ ÒØ ÙÖ Ò Ô Ö Ó Ó Ò Ø Ú Øݺ ÙÖØ Ö Ø Ð ³ ÐÓÛ Ñ ÐÐÓÛ Å ÅË ØÓ ÕÙ ÐÝ Û Ø ØÛ Ò Ø Ú Ò Ø Ò Ý ÑÓ ¼º Ñ µ Û Ö ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú Ö ÕÙ Ö ÙÔ ØÓ ¾ ÓÒ ØÓ Ô Ò ÙÔ Ò Ö ØÙÖÒ ØÓ Ø Ú ÑÓ º Ì ÐÓÒ Ð Ý Ò ÒØÐÝ ÒÖ Ø Ñ ÓÖ Ø Ö Ø Ö ÕÙ Ø Ø Ö Ò Ð Ô Ö Ó º Ì Ö ÓÖ Ö Ú ÔÓÛ Ö¹ Ñ Ò Ñ ÒØ Ð ÓÖ Ø Ñ Ù Ù ÐÐÝ Û Ø Ø Ð Ø ½¼ ÓÒ ¹ ÓÖ Ó Ò ÒØÓ Ø Ò Ý ÑÓ º ÙÖ Ò Ø ½¼ ÓÒ Ð Ý Ò ÙÖ Ò Ø ¾ ÓÒ Ô Ò¹ÙÔ Ø Ñ ÓÒ Ö Ð ÔÓÛ Ö Û Ø º ÁÒ ÓÒØÖ Ø Å Å˹ Ú Ò ØÖ Ò Ø ÓÒ ÖÓÑ Ø Ò Ý¹ØÓ¹ Ø Ú Ò ¼º Ñ ÐÐÓÛ Ò Ø Ú ØÓ ÑÙ ÑÓÖ Ö Ú Ò Ù Ò Ø Ò Ý ÑÓ º Å Å˹ ØÓÖ Ð Ó Ø Ð ØÝ ØÓ Ù Ø Ø ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ ÙÖ Ò Ø Ý Ö Ò ÓÖ ÛÖ Ø Ò Ø Ñ ÐÐ Ö Ö ÒÙÐ Ö ØÝ Ø Ò Ø Ò Ö ½¾ ÝØ ÐÓ º Ë Ò ÑÓ Ø ÔÓÛ Ö Ô Ø Ý Ø ÔÖÓ Ø Ô Ò ÒÓØ Ý ÔÓ¹ Ø ÓÒ Ò ÓÖ ÑÓÚ Ò Ø Ñ Ð Ö Ò ÓÖ ÛÖ Ø Ò ÓÒÐÝ Ø Ò ÖÝ Ø ÓÙÐ Ú ÓÒ Ö Ð ÔÓÛ Öº Ì ¹ Ú ÓÒÐÝ Ò ØÓ Ø Ú Ø Ñ ÒÝ Ø Ô Ö Ò ÖÝØÓ Ø Ý Ö ÕÙ Ø Û ÓÙÐ Ö ÙÐØ Ò Ù Ø ÒØ Ð ÔÓÛ Ö Ú Ò º ÁÒ ÓÒØÖ Ø Ø ÔÓÛ Ö Ö ÕÙ Ö ØÓ ÑÓÚ Ö Ú ³ ÖÑ Ò Ô Ò Ð Ò ØÓ ÖÚÓ ÓÒØÖÓÐ Ø ÓÚ Ö Ø ÔÔÖÓÔÖ Ø ØÓÖ ÑÙ Ö Ø Ö Ø Ò Ø ÔÓÛ Ö Ò ¹ ÖÝ ØÓ ØÙ ÐÐÝ Ö ÓÖ ÛÖ Ø Ø ½¾ ÝØ ØÓÖº ÌÓ ÙÒ Ö Ø Ò ÓÛ ÑÙ ÔÓÛ Ö Å Å˹ ØÓÖ ¹ Ú ÓÙÐ Ú ÓÚ Ö ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú Û ÑÙÐ Ø ÓØ Ò Ñ ÙÖ Ø Ö ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ ÖÓ Ü ÛÓÖ ÐÓ º Ì Ö Ú ÔÓÛ Ö ÑÓ Ð ÓÒ Á ų ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö ÌÖ Ú Ð Ø Ö Ò ÔÓÛ Ö Ñ Ò Ñ ÒØØ Ò ÕÙ Ö Ò ½ ½ º Ì Ú ÔÓÛ Ö ÑÓ ½µ Ø Ú ÑÓ Ø Ò µ ÓÒ ÙÑ ¾º Ï ÓÖ Ö Ò ¾º Ï ÓÖ ÛÖ Ø ¾µ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ð ÓÑ Ð ØÖÓÒ Ö ÔÓÛ¹ Ö ÓÛÒµ ÓÒ ÙÑ ¾º¼ Ï µ Ø Ð Ô Ö Ò ÖÚÓÓÒØÖÓÐ ÔÓÛ Ö ÓÛÒµ ÓÒ ÙÑ ½º Ï µ ÐÓÛ¹ ÔÓÛ Ö Ð Ö ÙÒÐÓ ÖÓÑ Ø µ ÓÒ ÙÑ ¼º Ï µ Ø Ò Ý Ô Ò Ð ÑÓØÓÖ ØÓÔÔ µ ÓÒ ÙÑ ¼º¾ Ϻ ÖÓÑ Ê Ö Ò ½ Ø Ñ Ü ÑÙÑ Ø Ñ Ô ÒØ Ò Ø ÒØ Ö¹ Ñ Ø ÑÓ ½ ÓÒ ÓÖ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ð ÓÒ ÓÖ Ø Ð Ò ÓÒ ÓÖ ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ð º ÓÖ Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ÔÓÛ Ö ÓÖ Ò ¹ Ñ Ö ÓÑÔÙØ ÙÖ Ò ÑÙÐ Ø ÓÒ Ý Ù Ò Ø Ô Ý Ð Ô Ö Ñ Ø Ö Ò Ê Ö Ò ÔÖÓ Ø Ô Ò Ø Ò Ð ÔÖÓ Ò Ð ØÖÓÒ ÓÒ ÙÑ ½ ÑϺ ÌÓ Ñ Ò Ñ Þ Ô ¹ Ò Ó Ø Û Ø ÓÙÖ ÔÓÛ Ö Ù Ø ØÓ ÓÙØ ½ Ϻ Ì Ð Ñ¹ Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ØÓ ÒÓ ÑÓÖ Ø Ò ÓÙØ ½ ¼¼¼ ÑÙÐØ Ò ÓÙ ÐÝ Ø Ú ÔÖÓ Ø Ô º ÙÖØ Ö Ú Ò Ø Ð Ò Ø ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑ ØÓ Ô Ø Ð Ò ÑÓØ ÓÒ ¼º½ Ϻ Ì Ö ÓÖ Ø Ñ Ü ÑÙÑ ÔÓÛ Ö ÓÖ Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ½º½ Ϻ ËØ Ò Ý ÔÓÛ Ö ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ Ø Ñ Ø ØÓ ¼º¼ Ϻ Ì Ð ÓÛ Ø Ø Ø ØÓØ Ð Ò Ö Ý ÓÒ ÙÑ ÓÖ Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ØÛ Ò ÔÔÖÓÜ Ñ Ø ÐÝ ½¼ Ò ¼ ÐÓÛ Ö Ô Ò Ò ÓÒ Ø ÔÔÐ Ø ÓÒº Ì Ú ÛÓÖ ÐÓ Ð¹ Ö Ý Ù Ö ÐÝ Ø Ú Ò Ó ÑÓ Ø Ó Ø Ú¹ Ò ÓÑ Ö ØÐÝ ÖÓÑ ÐÓÛ Ö Ò Ö Ý ÓÒ ÙÑÔØ ÓÒ ÙÖ Ò Ø Ø Ú ÑÓ µº ÌÓ Ø Ø ÑÓÖ ÒØ Ö Ø Ú ÛÓÖ ÐÓ Û ØÖ Ø Ò Ö Ø Ý Ù Ö
Ò Ö Û ÒÙÐ ÈÓ ØÑ Ö ÌÈ ¹ ÌÈ ¹ Æ Ø Ô Ø ÓÖÝ Å ÅË Å ÅË Å ÅË Å ÅË Å ÅË Å ÅË Ø Ú ½ º ¼º º º ½ ¼º ¾º¼ ½½ º º º¼ º ¾½º¾ ½º Ô Ö Á Ð ½ º ¼º º ¼º¼ ½½ ½º½ º º ¼º½ º ¼º ½ ¾ º½ ¼º¼½ ÓÌÓ Ø Ú ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ½ º ¼º¼ ØÁ Ð ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ½ º ¼º¼ ÐÓÛÈÓÛ ÖÁ Ð ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ½¼¼¼º ¼º¼ Ô ÒÙÔ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ ¾¾ º ¾¼º¼ Ø Ò Ý ¼º¼ ¼º¾ ¼º¼ ¼º¼ ¼º¼ º¼ ¼º¼ ½º½ ¼º¼ ½º ¼ º ¾ º ÌÓØ Ð ÂÓÙÐ µ ¾º ½º¾ ½¾ º º ½½½º º ½ ½º¼ º ½¼¾º ½¼º ¼ º º Ì Ð ÓÑÔ Ö ÓÒ Ó Ò Ö Ý Ö ÕÙ Ö ØÓ Ü ÙØ Ü «Ö ÒØ ÛÓÖ ÐÓ Ù Ò Ò Å Å˹ ØÓÖ Ú º ÐÐ ÒÙÑ Ö Ö Ú Ò Ò ÂÓÙÐ º ÖÓÛ Ò Û Ø Æ Ø Ô ÓÒ Ä ÒÙÜ ÛÓÖ Ø Ø ÓÒ ÓÖ Ø Ò Ñ Ò¹ ÙØ º ÁÒ Ø ÑÙ Ó Ø ÔÓÛ Ö Ú Ò ÓÑ ÖÓÑ Å Å˹ ØÓÖ ³ Ð ØÝ ØÓ Ö Ú ÐÝ Ù Ø ÐÓÛ¹ ÔÓÛ Ö Ø Ò Ý ÑÓ º ÁÒ ÓÒØÖ Ø Ø Ö Ú Ô Ò ¼± Ó Ø ÔÓÛ Ö ØÖ Ò Ø ÓÒ Ò ØÛ Ò Ø Ú Ò Ø Ò Ý ÑÓ º 5. POTENTIAL OF MEMS-BASED STORAGE AND COMPUTATION Ë Ø ÓÒ ÓÛ Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú Ú ¹ Ò ÒØ Ú ÒØ ÓÚ Ö Ö Ú º ÓÖ Ü ÑÔÐ Á»Ç Ô Ö¹ ÓÖÑ Ò Ò ÒÖ Ý Ò ÓÖ Ö Ó Ñ Ò ØÙ º ÙÖØ Ö ÙÒÐ ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Û Ó Ø Ò ÓÒ Ø Ó ÚÓÐ Ø Ð Ê Å Å Å˹ Ö Ø Ò ÒØ Ô Ö ÓÖ¹ Ñ Ò ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Û Ø ÓÙØ Ö Ò Ø ÐÓ º ÇØ Ö ¹ Ú ÒØ Ù Ô Ý Ð Þ ÔÓÖØ Ð ØÝ Ò Ø ÔÓØ Ò¹ Ø Ð ØÓ ÒØ Ö Ø ÔÖÓ Ò Û Ø Ò Ø Ñ Ù ØÖ Ø Ö Ø Ñ ÒÝ Ü Ø Ò ÔÓ Ð Ø ÓÖ Ý Ø Ñ Ö Ø Ø º ÓÖ ÔÓÖØ Ð ÔÔÐ Ø ÓÒ Ù ÒÓØ ÓÓ È È Ú Ó ÑÓÖ Ö Ò ÓÑ Ð ÑÓÒ ØÓÖ Ò Å Å˹ ØÓÖ ÔÖÓÚ ÑÓÖ ÖÓ Ù Ø Ò ÐÓÛ Ö¹ÔÓÛ Ö ÓÐÙØ ÓÒº Å ÒÝ Ó Ø ÔÔÐ Ø ÓÒ ÒÚÓÐÚ Ö Ô Ú ÖÓØ Ø ÓÒ º º Ö Ô ÐÝ ØÙÖÒ Ò È µ Ò Ö ÔÖÓÒ ØÓ Ò Ù Ò Ó º º ÖÓÔÔ Ò Ú µº Å Å˹ ØÓÖ Ó ÒÓØ Ù«Ö ÝÖÓ ÓÔ «Ø Ò Ò ÓÖ ÑÙ Ö Ø Ö Ü¹ Ø ÖÒ Ð ÓÖ º Å Å˹ ØÓÖ Ò Ð Ó ÒØ Ö Ø Û Ø ÓÑ Ð Ò ÓÖ ÐÐÓÛ Ò ÐÓÒ ¹Ø ÖÑ Ñ Ð ÑÓÒ ¹ ØÓÖ Ò Ú ØÓ ÑÔÐ ÒØ Ö ØÐÝ ÒØÓ Ø ÙÑ Ò Ó Ýº Å Å˹ ØÓÖ Ö Ø Ò Û ÐÓÛ¹Ó Ø ÒØÖÝ ÔÓ ÒØ ÓÖ ÑÓ Ø¹ Ô ØÝ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ó ½ß½¼ º Ì ¹ Ù Ø Ð Ò Ó Ø Ó ³ Ñ Ò Ð ÓÑÔÓÒ ÒØ Ô Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò ÔÖ ÖÓÑ ÐÐ Ò ÐÓÛ ÖØ Ò ÔÓ ÒØ Û Ð Å Å˹ ØÓÖ Ú Ò Ö Ø Ð Ò Ö ¹ Ð Ò Ò Á Ñ ÒÙ ØÙÖ Ò ÔÖÓ Ó Ø º ÀÓÛ Ú Ö Ð Ö Ô ØÝ Ö Ú Ñ Ý ÓÒØ ÒÙ ØÓ Ò ÓÝ ½¼ ÔÖ Ú Ò¹ Ø ÓÖ ¹ Ô ØÝ ØÓÖ º º Ò ¾¼¼¼µ Ù Ø Ö Ú Ñ ÐÝ Ó Ø Ö Ù ÙÑ Ý Ø Ñ Ó Øº Ì Ö ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ ÒÓØ Ò Ö ÐÝ ÒØ Ò Ö ÔÐ Ñ ÒØ ÓÖ ¹ Ô ØÝ Ö Ú ÙØ ÙÔ¹ ÔÐ Ñ ÒØ Ò Ø ØÓÖ Ö Ö Ýº Ï Ø Ò Û ÔÔÐ Ø ÓÒ Ö Ú ÐÝ Ö Ø Ò Ñ Ú ÑÓÙÒØ Ó Ø Å Å˹ ØÓÖ Ò ÐÔ ÓÐÚ Ø Ö Ú Ð ÔÖÓ Ð Ñ ÒÐÙ Ò Ô ØÝ Ø Ñ ØÓ Ø Ò ÐÓÒ ¹ Ø ÖÑ Ø Ö ØÖ Ú Ðº ÓÖ Ü ÑÔÐ ÐÓÛ¹Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ñ Ð ÓÔ Ò Ö Ø ÓÚ Ö ¼¼ Å Ó ÓÑÔÖ Ø Ô Ö Ô ¹ Ø ÒØ ¹Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÅÊÁ Ò Ö Ø ½¼ ØÓ ½¼¼ ÑÓÖ Ø º Å ÒØ Ò Ò Ø Ø ÓÒ¹Ð Ò Ó ØÐÝ ÔÖÓ Ð Ñ Ù Ù ÐÐÝ Ö ¹ ÕÙ Ö Ò Ø Ø Ø Ø Ñ Ö Ø ÖÓÑ ØÓ Ø Ô Û Ø Ò Ö Ð Ø Ú ÐÝ ÓÖØ Ô Ö Ó Ó Ø Ñ º Ï Ð Ø Ô ½¼¼ Ô Ö Ø Ò Ø Ô Ý Ø Ñ Ò ØÓÖ Ñ Ò Ñ ÒØ Ó Ø Ö ØÖ Ñ Ò ÓÙ Ò Ø Ø Ñ ØÓ Ö Ø Ó Ø ÖÓÑ Ø Ô Ò ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó Ò ÓÙÖº ÏÖ Ø ¹ÓÒ Ú Ö ÓÒ Ó Å Å˹ ØÓÖ Ú ÔÖÓÚ Ò ØØÖ Ø Ú ÐØ ÖÒ Ø Ú º Ï Ø ÔÓØ ÒØ Ð Ö Ð Ò Ø ÙÔ ØÓ ½¼¼ Ö Ø Ö Ø Ò ÛÖ Ø ¹Ñ ÒÝ Å Å˹ ØÓÖ ¹ Ú Ò ½¼ Ö Ø Ö Ø Ò ¹ Ô ØÝ Ø Ô ¾¾ Ø ÓÙÐ ÔÓ Ð ØÓ Ù Ð Ó Ø¹ «Ø Ú ØÓÖ Ö Ø Ø ÓÐ Ø ÓÙ Ò Ó Å ÅË Ú º ØÓÖ Ö ÛÓÙÐ ÓÒ¹ Ø Ò Ò Ö Ø Ô ØÝ Ó Ø Ö ÝØ ÓÖ Ô Ø ÝØ Û Ð ÔÖÓÚ Ò Ò Ø Ð Ø Ñ Ó ÙÒ Ö ½ ÓÒ º ÙÖØ Ö Ò¹ ÓÖÔÓÖ Ø Ò ÔÖÓ Ò Ò ÒØ Ö ÐÓ Û Ø Å ÅË Ö ¹ Ø Ò Ø Ú Å Å˹ ØÓÖ Ú Ô Ð Ó Ø ÔÖÓ Ò ÓÖ ØÖ Ò Ð Ø ÓÒ Û Ø Ò Ø ØÓÖ Ú º ÓÖ Ö Ú Ð ØÓÖ Ø ÚÓ Ø ÓÑÑÓÒ ÔÖÓ Ð Ñ Ó ÒÓØ Ú¹ Ò Ø Ô Ö Ú Ø Ø Ò Ö Ø Ø Ô ÓÖ ÒÓØ Ú Ò Ø ÔÔÐ Ø ÓÒ» Ö Û Ö»ÇË Ô Ð Ó ÖÙÒÒ Ò Ø ÓÐ ÔÖÓ¹ Ö Ñ ØÓ ÔÖÓ Ø Ø º ÁÒ Ø Ø ÔÔÐ Ø ÓÒ ØÓÖ Û Ø Ø Ø Ò Ò Ü ÙØ Û Ø Ò Ø Ø Ú Ú º Ø Ú Å Å˹ ØÓÖ Ú ÔÖÓÚ Ñ Ú Óѹ ÔÙØ Ø ÓÒ Ð Ô Ö ÐÐ Ð Ñ Ö Ø Ò Ø ÙÐØ Ñ Ø Ø Ú ØÓÖ Ú º ÓÖ Ü ÑÔÐ Ò Ð Ú Û Ø ½¼ ¼¼¼ Ø Ú ÔÖÓ Ø Ô Ò Ø ÔÔÖÓÔÖ Ø Ô Ò ÓÖ Ø ¹ Ô Ø ÓÒ ÓÙÐ Ø Ø ½» º ÅÓ ÖÒ ÔÖÓ ÓÖ Ò ÐÝ ÓÒ ÙÑ Ø Ø Ø Ø Ö Ø ÙØ ÑÓÚ Ò ½» ØÛ Ò Ø ØÓÖ Ý Ø Ñ Ò Ó Ø ÈÍ Ö ÕÙ Ö Ó ØÐÝ ÒØ ÖÓÒÒ Ø ¾ º ÈÖÓ Ò Ø Û Ø Ò Ø ØÓÖ ¹ Ú Û Ö ÓÒ¹ Ô ÒØ ÖÓÒÒ Ø ÙÔÔÓÖØ» Ò Û Ø ÚÓ Ø Ó Øº ÅÓÖ ÓÚ Ö Ø Ö Ø Ú ÖÝ Ð Ð Ö ¹ Ø ØÙÖ Û Ö Ò ØÓÖ ÙØÓÑ Ø ÐÐÝ ÐÓ Ð Ò ¹ Û Ø Ò ÓÑÔÙØ Ø ÓÒ ½ º Ò ÐÐÙ ØÖ Ø ÓÒ ÓÒ Ö Ø Ó Ø Ó Ð Ø Ø ÓÔ Ö Ø ÓÒ ÖÓÑ ÈÓ Ø Ö º Å ÙÖ ÓÒ Ø ÓÑÔ Õ ÐÔ Ö Ø ØÙÖ ½ Ð Ø Ö ÕÙ Ö º Ò ØÖÙØ ÓÒ ØÓ ÔÖÓ ÝØ Ó Ø º Ì Ö ÓÖ ÔÖÓ Ò Ø ½» Ó Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú ÓÙÐ Ð Ú Ö ÛÓÙÐ Ö ÕÙ Ö ¼¼ ÅÁÈË ÛÓÖØ Ó ÔÖÓ Ò ÔÓÛ Öº Ù Ø Ð Ø ÓÔ Ö Ø ÓÒ ÐÐÓÛ Ô Ö ÐÐ Ð ÔÖÓ Ò Ó Ø Ø Ø ¼¼ ÅÁÈË ÓÙÐ Ñ Ò ÒÙÑ ÖÓÙ Û Ý Ò Ð ¼¼ ÅÁÈË ÔÖÓ ÓÖ ÑÔÐ ½¼¼¹ÅÁÈË ÔÖÓ ÓÖ Ù ØÓÑ ËÁ ÓÖ Ö ÓÒ ÙÖ Ð ÐÓ º Ì Ö ÙÐØ Ò Ø Ú ØÓÖ Ú ÓÙÐ ÓÑÔÐ Ø Ð Ø ÓÔ Ö Ø ÓÒ Ò Ù Ø ÓÒ º ÁÒ ÓÒØÖ Ø ÑÓ ÖÒ Ö Ú ØÖ Ñ Ò Ø Ø ¼ Å» ÛÓÙÐ Ø ½¼¼ Ù Ø ØÓ Ö Ø Ø º
«Ö ÒØ ÔÔÐ Ø ÓÒ ÓÑ Ò ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ ÙÐ ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ØÓÖ ÓÖ Ñ ÓÑÔÙØ Ö º Ë Ò Ð ¹ Ô Ø ÖÓÛ¹ Û Ý Ú Ø Ø ØÓÖ Ú ÖÝ Ð Ö Ø Ø Ò Ù ÐØ ÓÖ Ù ÔÔÐ Ø ÓÒ Ú Ð Ò Ö ØÖÙØÙÖ ÑÓÒ ¹ ØÓÖ Ò º º ÓÖ Ö Û ÐÐ Ò ÖÓ Û Ý µ Û Ø Ö Ò Ñ ØÖ Ò Ò Ñ Ð ÔÔÐ Ø ÓÒ º ÇÒ ÓÖØ ÓÑ Ò ÔÔÐ Ø ÓÒ Ø ÑÔÓÖ ÖÝ ØÓÖ ÓÖ Ñ ÖÓ Ø ÐÐ Ø Ò ÐÓÛ ÖØ ÓÖ Øº Ú Ò Ø Ø Ø ÐÐ Ø Ò Ú ÖÝ ÐÓÛ ÓÖ Ø Ô ÓÚ Ö Ò Ð ÔÓ ÒØ Ú ÖÝ ÕÙ ÐÝ ÓÑÑÙÒ Ø ÓÒ Ñ Ý ÓÒÐÝ ÔÓ Ð Ò Ú ÖÝ ÓÖØ ÙÖ Ø º Ì Ö ÓÖ ÐÓÛ¹ÚÓÐÙÑ ¹ Ô ØÝ ÒÓÒÚÓÐ Ø Ð ØÓÖ Ú ÓÙÐ Ù ØÓ Ù«Ö Ø ØÛ Ò ØÖ Ò Ñ ÓÒ ÙÖ Ø º Å Å˹ ØÓÖ¹ Ú ÓÙÐ Ð Ó Ù Ø ØÓ Ò Ð ¹ Ô ÓÒ¹ Ø ÒÙÓÙ Ô Ö Ó Ò Ø ÓÒ Ý Ø Ñ Ò ÒØ Ö Ø ÒØÓ ÐÓÛ¹Ó Ø ÓÒ ÙÑ Ö ÓÖ ÑÓ Ð Ú º ËÙ Ô ÓÙÐ ÓÑÔÐ Ø ÐÝ Ð ¹ÓÒØ Ò Û Ø ÙÒ Ö Ó Ñ ÝØ Ó Ô Ø Ù ØÓÑ Ö Ó Ò Ø ÓÒ Ö Û Ö Ò ÓÒÐÝ Ñ Ò ¹ Ñ Ð ÓÒÒ Ø ÓÒ ÓÖ ÔÓÛ Ö Ò Á»Çº Å Å˹ ØÓÖ Ó«Ö Ò Ò Ø ÙÖ Øݺ Ï Ø ØÖÙ Ý Ø Ñ ¹ÓÒ¹ ¹ Ô Ò Ø Ú Ø Ò Ú Ö ØÓ ÑÓÚ ¹ ÝÓÒ Ø ÔÖÓ ÓÖ Ò Ø ÓÒ¹ Ô Ø ØÓÖ Û Ø ÓÙØ ¹ Ò ÔÖÓÔ ÖÐÝ ÒÖÝÔØ Ú ÓÒ¹ Ô ÖÙ ØÖݺ ËÙ Ò ÛÓÙÐ ÔÖÓÚ ÒÓ ÓÔÔÓÖØÙÒ ØÝ ÓÖ ØÖ Æ ÒÓÓÔ Ò Ú Ú Ò ÓÒ Ø ØÓÖ Ò ØÛÓÖ ØÓ ÔØÙÖ Ð ÖØ ÜØ ÓÔÝ Ó Ò Ø Ú Ò ÓÖÑ Ø ÓÒº ÙÖØ Ö Ø Ð ¹ÓÒØ Ò Ò ØÙÖ Ó Ø ÓÑÔÓÒ ÒØ ÐÐÓÛ ÓÖ Ø ÓÒ ØÖÙØ ÓÒ Ó Ò ÜÔ Ò Ú ¹ Ô ØÝ Ø ÑÔ Ö¹ÔÖÓÓ Ñ ÖØ Ö º 6. CONCLUSIONS Ì ÛÓÖ ÑÓÒ ØÖ Ø Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ø ÔÓØ ÒØ Ð ØÓ ÐÐ Ø Ú Ö¹ ÖÓÛ Ò Ô ØÛ Ò Ê Å Ò Ø Ñ Ò Ò ØØÖ Ø Ú ÐØ ÖÒ Ø Ú ØÓ Ö Ú ÓÖ ÔÓÖØ Ð ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö ÔÔÐ Ø ÓÒ º ÙÖØ Ö Ø Ö Ò Ó Ú Ô Ö Ñ Ø Ö Ò Ø Ö ÑÔ Ø ÓÒ ÓÚ Ö ÐÐ Ô Ö ÓÖÑ Ò Ö ÙÐØ Ò Ú Ö Ø Ó ÔÓØ ÒØ Ð Ú Ò Ø Ø Ò ÓÔØ Ñ Þ ÓÖ «Ö ÒØ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ö ÕÙ Ö Ñ ÒØ ÑÔÖÓÚ Ð Ø ÒÝ Ò Û Ø Ô ØÝ ÓÖÔÓÛ Öµº Ì ÔÔÐ Ø ÓÒ Ö ÙÐØ ÓÛ Ø Ø Å Å˹ ØÓÖ Ö ¹ Ù ÔÔÐ Ø ÓÒ Á»Ç Ø ÐÐ Ø Ñ Ý ß Û Ø ÓÚ Ö ÐÐ Ô Ö ÓÖÑ Ò ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ö Ò Ò ÖÓÑ ½º ß º º Í Ò Å ÅË ÓÖ Ð Ó Ú Ò ÒØ Ô Ö¹ ÓÖÑ Ò ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ó º º ÙÖØ Ö Å ÅË ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö ÕÙ Ö Ñ ÒØ Ð Ú Ö ÙÔ ØÓ ÔÓÛ Ö Û Ò ÓÚ Ö ÐÓÛ¹ÔÓÛ Ö Ö Ú º ÅÓ Ø Ó Ø ÑÔÖÓÚ Ñ ÒØ Ö ÙÐØ ÖÓÑ Ø Ø Ø Ø Ú Ö Ø Ñ ÓÖ Å Å˹ ØÓÖ Ö ½¼ Ø Ñ Ø Ö Ø Ò º º ¼º ¹½º¼ Ñ µ Ò Ø Ø Å ÅË Ð ØÓ Ö Ô ÐÝ ÑÓÚ ØÛ Ò Ø Ú Ò ÔÓÛ Ö¹ ÓÛÒ ÑÓ º ÙØÙÖ ÛÓÖ Ò Ø Ö ÒÐÙ ÜÔÐÓÖ Ò ÓÛ ØÓ Ö ØÖÙ¹ ØÙÖ ØÓÖ Ý Ø Ñ Ö Û Ö Ò Ó ØÛ Ö µ ØÓ Ø ÜÔÐÓ Ø Å Å˹ ØÓÖ Ú º Ö Ø Ø Ô ØÓ Ú ÐÓÔ Ò ÓÔØ Ñ Þ Ð Ý Ø Ñ Û Ø Ú ÒØ Ó Ø Ô Ý Ð Ö Ø Ö Ø Ó Ø Ú ØÓ ÑÔÖÓÚ Ô Ö ÓÖÑ Ò Û Ù ÙÖØ Ö Ò ½ º ÙÖØ Ö ÑÓÒ ØÖ Ø ÓÒ Ò Ø ÑÓ Ð Ò Ö Ú Ð ØÓÖ ÓÑ Ò ÓÙÐ ÐÐÙ ØÖ Ø Ø ÙØ Ð ØÝ Ó Å Å˹ ØÓÖ Ò Ý Ø Ñ º Ò ÐÐÝ Ø Ö Ö ÒØ Ö Ø Ò Ö Ö ÔÖÓ Ð Ñ ÓÖ Ø Ú Å Å˹ ØÓÖ Ú Ò Ø ØÖ ÙØ Ð ÓÖ Ø Ñ Ò ÖÝ ØÓ Ù Ò Ñ Ò Ø Ñº ACKNOWLEDGMENTS Ï Ø Ò Ê ÖÐ Ý Ø ÅÍ Å ÅË Ä ÓÖ ØÓÖÝ Ò Ø ÒÓÒÝÑÓÙ Ö Ú Û Ö ÓÖ ÐÔ Ò Ù Ö Ò Ø Ô Ô Öº Ï Ø Ò Ø Ñ Ñ Ö Ò ÓÑÔ Ò Ó Ø È Ö ÐÐ Ð Ø ÓÒ¹ ÓÖØ ÙÑ ÒÐÙ Ò Ä Ê ÇÆ Å ÀÈ À Ø ÁÒ Ò ÓÒ ÁÒØ Ð ÄËÁ ÄÓ ÅÌÁ ÆÓÚ ÐÐ È Æ Ë Ë ÈÖÓÓÑ ÉÙ Ò¹ ØÙÑ Ë Ø ËÙÒ Î Ö Ø Ò Óѵ ÓÖ Ø Ö ÒØ Ö Ø Ò Ø Ò ÙÔÔÓÖغ Ï Ð Ó Ø Ò Á Å ÓÖÔÓÖ Ø ÓÒ Ò ÁÒØ Ð ÓÖÔÓÖ Ø ÓÒ ÓÖ ÙÔÔÓÖØ Ò ÓÙÖ Ö Ö «ÓÖØ º ÂÓ Ò Ö ÆÒ ÙÔÔÓÖØ Ò Ô ÖØ Ý Æ Ø ÓÒ Ð Ë Ò ÓÙÒ ¹ Ø ÓÒ Ö Ù Ø ÐÐÓÛ Ôº REFERENCES ½ ˺ Ö º Ì Ñ ÑÓÖÝ Ø º Á Å ÖÓ ¾¼ µ ¼ß ÂÙÐÝ» Ù º ¾¼¼¼º ¾ ź Ö Ëº Ñ º ÔÖ Ø Âº ÇÙ Ø Ö ÓÙØ Ò Åº Ë ÐØÞ Öº ÆÓÒ¹ÚÓÐ Ø Ð Ñ ÑÓÖÝ ÓÖ Ø Ö Ð Ð Ð Ý Ø Ñ º ÁÒ Ø ÓÒ Ö Ò ÓÒ Ö Ø ØÙÖ Ð ËÙÔÔÓÖØ ÓÖ ÈÖÓ Ö ÑÑ Ò Ä Ò Ù Ò ËÝ Ø Ñ Ô ½¼ß¾¾ Çغ ½ ¾º º ÖÓÛÒº Å ÖÓÔÖÓ ÈÖÓÑ Æ Û Å ÑÓÖÝ ÇÔØ ÓÒº Ì Ñ Ô ½ ½¾  Һ ½ º ĺ ʺ ÖÐ Ý Âº º Ò º ú Ö º Ϻ Ö Ú º º Ù ÐÐÓ٠ź ˺ º Ä٠̺ ÅÙ Ö Ëº Ë ÒØ Ò Ñ Äº ÐÑ ÒÒ Ò Ëº Å Òº Ë Ò Ð Ô ÓÑÔÙØ Ö Û Ø Å ÖÓ Ð ØÖÓÑ Ò Ð ËÝ Ø Ñ ¹ Å Ò Ø Å ÑÓÖݺ ÂÓÙÖÒ Ð Ó ÔÔÐ È Ý µ ¼ß ½ Å Ý ¾¼¼¼º ÒØ Ö ÓÖ À ÐÝ ÁÒØ Ö Ø ÁÒ ÓÖÑ Ø ÓÒ ÈÖÓ Ò Ò ËØÓÖ ËÝ Ø Ñ ÖÒ Å ÐÐÓÒ ÍÒ Ú Ö Øݺ ØØÔ»»ÛÛÛº ºÑÙº Ù»Ö Ö» Ô»º ʺ ÓÐ Òº ËÓÖØ Ò ÐÓ ÌÓ Ê Ù ÄÓ Ì Ñ º È Ö ÓÒ Ð ÓÑÑÙÒ Ø ÓÒ ÁÒØ Ð ÓÖÔÓÖ Ø ÓÒ ½ º ̺ Ú º Ê Ð Þ Ò ÓÑÔÐ Ø ÐÝ Å ÖÓÑ Ò Ð Ø ËØÓÖ ËÝ Ø Ñ Ã ÓÒ Ü ÁÒºµº ÁÒ ÓÒ ÁÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð Ì Ò Ð ÓÒ Ö Ò Ë Ôغ ½ º ź ÔÓÒØ Âº ÖÙ Ö Íº Ö Ð Ö Íº ĐÙÖ Ïº ÀĐ ÖРź ÄÙØÛÝ Àº ÊÓØ Ù Þ Ò Êº ËØÙØÞ Êº Ï Ñ Ö Àº ÊÓ Ö Ö º ÒÒ Ò Èº Î ØØ Öº ÎÄËÁ¹Æ ÅË Ô ÓÖ Å Ø ËØÓÖ º ÁÒ ÈÖÓ Ò ½¾Ø ÁÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð ÏÓÖ ÓÔ ÓÒ Å ÖÓ Ð ØÖÓ Å Ò Ð ËÝ Ø Ñ Ô ß ÇÖÐ Ò Ó Ä ½ ß¾½  Һ ½ º º Ó٠РȺ ÃÖ Ò Ò Ò º Å Ö º Ì Û ÖØ Ò Ø ÈÓÛ Ö¹ÀÙÒ ÖÝ º ÁÒ Ï ÒØ Ö ÍË ÆÁ Ô ¾ ¾ß ¼  Һ ½ º ½¼ º ú Ö Ëº Ë ÒØ Ò Ñ Åº ĺ Ê Ëº º Ð º º Ù ÐÐÓ٠ź ˺¹ º ÄÙ Ò Äº ʺ ÖРݺ Ä Ñ Ò Ø À ¹ Ô Ø¹Ê Ø Ó Å ÖÓ ØÖÙØÙÖ ÁÒ ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÅÇË ÈÖÓ º ÁÒ ÈÖÓ Ò Ó Ø Á Å ÖÓ Ð ØÖÓ Å Ò Ð ËÝ Ø Ñ ÏÓÖ ÓÔ Ô ½ ß½ Ë Ò Ó º ½ º ½½ º Ò Ö º ÏÓÖØ Ò ØÓÒ Ò º È Øغ Ì Ë Ñ Ë ÑÙÐ Ø ÓÒ ÒÚ ÖÓÒÑ ÒØ Î Ö ÓÒ ½º¼ Ê Ö Ò Å Ò٠к Ì Ò Ð Ê ÔÓÖØ Ë ¹Ìʹ ¹ Ô ÖØÑ ÒØ Ó ÓÑÔÙØ Ö Ë Ò Ò Ò Ò Ö Ò ÍÒ Ú Ö ØÝ Ó Å Ò º ½ º ½¾ º Ö Ýº Ï Ø À ÔÔ Ò Ï Ò ÈÖÓ Ò ËØÓÖ Ò Ò Û Ø Ö Ö Ò ÁÒ Ò Ø º ÁÒ ÁÇÈ Ë Ã ÝÒÓØ ÆÓÚº ½ º ½ º ĺ Ö ÆÒ Ëº Ϻ Ë ÐÓ Ö º ʺ Ò Ö Ò º º Æ Ð º ÅÓ Ð Ò Ò È Ö ÓÖÑ Ò Ó Å Å˹ ËØÓÖ Ú º ÁÒ Å ËÁ Å ÌÊÁ Ë ¾¼¼¼ Ë ÒØ Ð Ö ½ ß¾½ ÂÙÒ ¾¼¼¼º ÈÙ Ð È Ö ÓÖÑ Ò Ú ÐÙ Ø ÓÒ Ê Ú Û ¾ ½µ ß ÂÙÒ ¾¼¼¼º ½ º ĺ Ö ÆÒ Ëº Ϻ Ë ÐÓ Ö º ʺ Ò Ö Ò º º Æ Ð º ÇÔ Ö Ø Ò ËÝ Ø Ñ Å Ò Ñ ÒØ Ó Å Å˹ ËØÓÖ Ú º ÁÒ ÈÖÓ Ò Ó Ø Ø ËÝÑÔÓ ÙÑ ÓÒ ÇÔ Ö Ø Ò ËÝ Ø Ñ Ò ² ÁÑÔÐ Ñ ÒØ Ø ÓÒ Ë Ò Ó
¾ ß¾ Çغ ¾¼¼¼º ½ ź ÀÓÖÓÛ ØÞ Ìº ÁÒØ ÖÑ ÙÖ Ò Êº ÓÒÞ Ð Þº ÄÓÛ¹ÈÓÛ Ö Ø Ð Òº ÁÒ ÈÖÓ Ò Ó Ø ½ Á ËÝÑÔÓ ÙÑ ÓÒ ÄÓÛ ÈÓÛ Ö Ð ØÖÓÒ Ô ½¼ß½¾ Çغ ½ º ½ º ÀÓÛ Ö Åº Ã Þ Ö Ëº Å Ò º Æ ÓРź Ë ØÝ Ò Ö Ý Ò Ò Êº Ë ÓØ Ñ Ò Åº Ï Øº Ë Ð Ò È Ö ÓÖÑ Ò Ç ØÖ ÙØ Ð ËÝ Ø Ñº Å ÌÖ Ò º ÓÒ ÓÑÔÙØ Ö ËÝ Ø Ñ ½µ ½ß ½ º ½ º ½ Á ź ÔØ Ú ÈÓÛ Ö Å Ò Ñ ÒØ ÓÖ ÅÓ Ð À Ö Ö Ú º ØØÔ»»ÛÛÛº ÐÑ Òº ѺÓÑ» ÐÑ Ò»Ô Û Ø Ô Ô ÖºÔ º ½ Á ź Á Å Ñ ÐÝ Ó Ñ ÖÓ Ö Ú º ØØÔ»»ÛÛÛº ØÓÖ º ѺÓÑ» Ö Ó Ø» Ö Ð»Ñ ÖÓ»¹ Ø ØºÔ º ½ Á ź Á Å ÌÖ Ú Ð Ø Ö Ëº ØØÔ»»ÛÛÛº ØÓÖ º ѺÓÑ»¹ Ö Ó Ø» Ö Ð»ØÖ Ú Ð» ¾ Ø ºÔ º ¾¼ Á Å ÈÖ ÊÓÓѺ Á Å Ë Ø ÒÓØ Ö ¹ Ö Ú ÏÓÖÐ Ê ÓÖ º ØØÔ»»ÛÛÛº ѺÓÑ»ÔÖ»ÔÖÒ Û ºÒ» Çغ ½ º ¾½ º Ã Ø Öº ÈÓ ØÅ Ö Æ Û Ð ËÝ Ø Ñ Ò Ñ Ö º Ì Ò Ð Ö ÔÓÖØ ÌÊ ¼¾¾ Æ ØÛÓÖ ÔÔÐ Ò Çغ ½ º ¾¾ ˺ à ÞÖÓ Ú Âº Ò Ò Åº ÃÖÝ Öº ÓÒ Ö Ø ÓÒ Ò Ø Ò Ó ÈÖÓ À ÓÖ ½¼¼ Ø» Ò ¾ Ê ÓÖ Ò º Á ÌÖ Ò º Å Ò Øº µ ¾ ß¾ ½ º ¾ º Ä Ù ÓÒ Ò º Ä ÒÓ º Ì Ë Á ÇÖ Ò ÆÍÅ À ÐÝ Ë Ð Ð Ë ÖÚ Öº ¾ Ø ÁÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð ËÝÑÔÓ ÙÑ ÓÒ ÓÑÔÙØ Ö Ö Ø ØÙÖ Ô ¾ ½ß¾ ½ ¾ß ÂÙÒ ½ º ¾ ú Ä Êº ÃÙÑÔ Èº ÀÓÖØÓÒ Ò Ìº Ò Ö ÓÒº ÉÙ ÒØ Ø Ø Ú Ò ÐÝ Ó Ö Ú ÈÓÛ Ö Å Ò Ñ ÒØ Ò ÈÓÖØ Ð ÓÑÔÙØ Ö º ÁÒ Ï ÒØ Ö ÍË ÆÁ Ô ¾ ß¾ ¾  Һ ½ º ¾ º¹Àº Ä٠̺ Ë ÑÙÒ Ò º º Å Ð º ËÓ ØÛ Ö ÓÒØÖÓÐÐ ÈÓÛ Ö Å Ò Ñ Òغ ÁÒ Ø ÁÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð ÏÓÖ ÓÔ ÓÒ À Ö Û Ö»ËÓ ØÛ Ö Ó Ò Ô ½ ß½ ½ Å Ý ½ º ¾ º º Å Ò º º Ò Ðº Å Ò Ø ËØÓÖ À Ò ÓÓ Ë ÓÒ Ø ÓÒº Å Ö Û¹À ÐÐ ½ º ¾ Æ ÒÓ Ô ÁÒº Æ ÒÓ Ô ÁÒº ÈÖÓ ÙØ ÇÚ ÖÚ Ûº ÁÒ ÓÒ ÁÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð Ì Ò Ð ÓÒ Ö Ò Ë Ôغ ½ º ¾ º º È ØØ Ö ÓÒ Ò Âº ĺ À ÒÒ Ýº ÓÑÔÙØ Ö Ö Ø ØÙÖ ÉÙ ÒØ Ø Ø Ú ÔÔÖÓ º ÅÓÖ Ò Ã Ù Ñ ÒÒ ÈÙ Ð Ö È ÐÓ ÐØÓ ¾Ò Ø ÓÒ ½ º ¾ º ÈÙ º ËØÓÖ À Ö Ö Ô Ð «Ò ÌÖ Ò º Á ÌÖ Ò Ø ÓÒ ÓÒ Å Ò Ø Ô ½¼ß ½ º ½ ½º ¼ ÉÙ ÒØÙÑ ÓÖÔÓÖ Ø ÓÒº ÉÙ ÒØÙÑ ØÐ ½¼Ã º½»½ º¾» º ÍÐØÖ ½ ¼»Ñ Ë ËÁ À Ö Ö Ú ÈÖÓ ÙØ Å ÒÙ Ð Ù º ½ º ÈÙ Ð Ø ÓÒ ÒÙÑ Ö ½¹½½ ½ ¹¼ º ½ º Ê Ðº Ø Ú Ê ÑÓØ Ü ÙØ ÓÒ ÓÖ Æ ØÛÓÖ ¹ ØØ ËØÓÖ º È Ø Ë ÓÓÐ Ó ÓÑÔÙØ Ö Ë Ò ÖÒ Å ÐÐÓÒ ÍÒ Ú Ö ØÝ È ØØ ÙÖ È ÆÓÚº ½ º Ì Ò Ð Ö ÔÓÖØ ÅÍß Ëß ß½ º ¾ ź ÊÓ Ò ÐÙÑ Ëº À ÖÖÓ º Ï Ø Ð Ò º ÙÔØ º ÓÑÔÐ Ø ÓÑÔÙØ Ö ËÝ Ø Ñ Ë ÑÙÐ Ø ÓÒ Ì Ë ÑÇË ÔÔÖÓ º Á È Ö ÐÐ Ð ² ØÖ ÙØ Ì ÒÓÐÓ Ý µ Ï ÒØ Ö ½ º º ÊÙ ÑÑÐ Ö Ò Âº Ï Ð º ÍÆÁ È ØØ ÖÒ º ÁÒ Ï ÒØ Ö ÍË ÆÁ ÓÒ Ö Ò Ô ¼ ß ¾¼  Һ ½ º º Ë Ø Ö Ò Åº ÊÓ º Ä Ò Ì Ï Ý ÁÒ ËØÓÖ º Á Å Ê Ö Å Þ Ò ¾µ ½ º º Ë Ò Ð Ö Ò º Ò Öº ÙØÓÑ Ø Ö Ú Ö Ø Ö Þ Ø ÓÒº Ì Ò Ð Ê ÔÓÖØ Å͹ ˹ ¹½ ÖÒ Å ÐÐÓÒ ÍÒ Ú Ö ØÝ Ë ÓÓÐ Ó ÓÑÔÙØ Ö Ë Ò ÆÓÚº ½ º º Ϻ ÌÓ Óº ÚÓ Ò Ø ÖÙÒ Û Ý ØÓÑ Ê ÓÐÙØ ÓÒ ËØÓÖ º Ë ÒØ Ñ Ö Ò Å Ý¾¼¼¼º ØØÔ»»ÛÛÛº ѺÓÑ»¾¼¼¼»¼ ¼¼ Ù»¼ ¼¼ØÓ ÓÜ º ØÑк ÌÖ Ò Ø ÓÒ ÈÖÓ Ò È Ö ÓÖÑ Ò ÓÙÒ Ðº ÌÈ Ò Ñ Ö ÓÒ ËÙÔÔÓÖص ËØ Ò Ö ËÔ Ø ÓÒº ØØÔ»»ÛÛÛºØÔºÓÖ» Ò Ñ Ö Ô Ø ÓÒ»ÌÈ»¹ ¾½¼ºÔ º Ⱥ Î ØØ Ö Åº ÔÓÒØ Íº Ö Ð Ö Íº ĐÙÖ Ïº ÀĐ ÖРź Áº ÄÙØÛÝ º ÊÓØ Ù Þ Ò Êº ËØÙØÞ Êº Ï Ñ Ö Ò º ú ÒÒ º Ì Å ÐÐ Ô ÅÓÖ Ì Ò ÇÒ Ì ÓÙ Ò Ì Ô ÓÖ ÙØÙÖ Å Ø ËØÓÖ º Á Å ÂÓÙÖÒ Ð Ó Ê Ö Ò Ú ÐÓÔÑ ÒØ µ ¾ ß ¼ ¾¼¼¼º º Ï Ð Êº ÓÐ Ò º ËØ Ð Ò Ò Ìº ËÙÐÐ Ú Òº Ì ÀÈ ÙØÓÊ Á À Ö Ö Ð ËØÓÖ ËÝ Ø Ñº ÁÒ ½ Ø Å ËÇËÈ Ô ß½¼ º ½ º